AZ® 125 nXT - Ultradicker Negativlack für die Galvanik

Herausragende Eigenschaften

  • i-line, 30 - 100 µm Lackschichtdicke via Einfachbelackung
  • 1 mm Lackschichtdicke und darüber möglich
  • Wässrig alkalisch entwickelbar (z. B. AZ® 326/726/826 MIF)
  • Kein post exposure bake, photopolymerisiert beim Belichten
  • Keine Rehydrierung notwendig, keine N2-Bildung beim Belichten
  • Sehr gute Lackhaftung, kein Unterwachsen der Lackstrukturen
  • Nasschemisch entfernbar (z. B. mit dem TechniStrip P1316)
  • Optimiert für die Galvanik, nass- und trockenchem. Ätzen
  • 100 ml, 250 ml, 1000 ml und 3.78 L Gebinde

Generelle Informationen

AZ® 125 nXT ist ein Negativlack für Schichtdicken bis über 100 µm bei gleichzeitig sehr hoher Flankensteilheit. Seine Quervernetzung und sehr gute Lackhaftung macht ihn in für alle üblichen Galvanik-Anwendungen stabil. Dieser Lack benötigt keinen post exposure bake oder Pausen zwischen den Prozessschritten (wie z. B. eine Rehydrierung vor oder Wartezeit zum Ausgasen nach dem Belichten), so dass sich die Prozessierung sogar noch einfacher als mit Positivlacken gestaltet.

Entwickler

Wir empfehlen die TMAH-basierten Entwickler AZ® 326, 726 oder 826 MIF (Technische Details dazu hier).

Entfernen der Lackschicht

Der für den AZ 125 nXT optimierte Stripper ist der NMP-freie, ungiftige und mit allen gängigen, auch alkalisch empfindlichen Substratmaterialien kompatible TechniStrip P1316. Lösemittel wie NMP oder das ungiftige DMSO sind zum Entfernen der Fotolackschicht dann geeignet, wenn die Lackschichtdicke und der Quervernetzungsgrad der Lackschicht nicht zu groß sind.

Grundsätzlich empfiehlt sich bei sehr dicken oder stärker quervernetzten Lackschichten ein Erwärmen des Removers auf 60 - 80°C, evtl. unterstützt im Ultraschallbad.

Technisches Datenblatt (TDS):

Das technische Datenblatt zum AZ 125 nXT mit weiteren technischen Informationen finden Sie hier als pdf: TDS_AZ_125nXT und weitere Informationen Info AZ 125nXT

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet: Technische Infos.

20 µm Stege bei 60 µm Lackschichtdicke
15 µm Öffnungen bei 60 µm Lackdicke
80 µm galvanisierte CuNi Stege
Abbildungen aus: AZ® 15 nXT und 125 nXT Product Data Sheet of AZ-EM.
60 und 120 µm hohe AZ® 125 nXT Lackstrukturen und damit abgeformte Metallstrukturen
®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.