AZ® 40 XT

Herausragende Eigenschaften des AZ 40 XT

  • i-line, 15 - 100 µm Lackschichtdicke via Einfachbelackung
  • Wässrig alkalisch entwickelbar (z. B. AZ® 326/726/826 MIF)
  • Keine Rehydrierung notwendig, keine N2-Bildung beim Belichten
  • Sehr gute Lackhaftung, sehr steile Lackflanken
  • Nass- und trockenchemisch entfernbar
  • Optimiert für die Galvanik, nass- und trockenchem. Ätzen
  • 100 ml, 250 ml, 1000 ml und 3.78 L Gebinde

Generelle Informationen

AZ® 40 XT ist ein chemisch verstärkter ultradicker Positivlack, dessen Einsatzbereich bei Schichtdicken um 20 - 30 µm beginnt, wo mit herkömmlichen Dicklacken die Prozesszeiten aufgrund langer Wartezeiten zur Rehydrierung oder N2-Freisetzung unzumutbar lang werden.

Der AZ 40 XT benötigt auch bei dicken Lackschichtdicken nur kurze Softbakezeiten, keine Wartezeit zur Rehydrierung, aufgrund seiner chemischen Verstärkung sehr geringe Lichtdosen, und entwickelt sehr zügig, so dass die Prozesszeiten selbst bei sehr großen Lackschichtdicken deutlich kürzer sind als bei herkömmlichen Dicklacken.

Zwei Dinge sind beim AZ 40 XT zu beachten:

  • Der Softbake sollte mit einer Temperaturrampe ('Proximity Hotplate' oder Temperaturprofil auf einer Kontakt-Hotplate) starten um Bläschenbildung bei Softbake zu vermeiden.
  • Der AZ 40 XT benötigt zur Vollendung der Fotoreaktion zwingend einen Post Exposure Bake (einen Backschritt nach dem Belichten) um entwickelbar zu werden.

Technisches Datenblatt (TDS):

Das technische Datenblatt des AZ 40 XT mit weiteren technischen Informationen finden Sie hier als pdf: TDS_AZ_40XT

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet: Technische Infos.

100 ... 10 µm lines and spaces eines 40 µm dicken AZ 40 XT bei 400 mJ/cm2 Lichtdosis
®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.