AZ® TFP 650

Herausragende Eigenschaften

Der AZ^_® TFP 650F-5 eignet sich für Rotations-, sowie für Extrusionsbeschichtungen unter normalen bis zu harten Ätzbedingungen.  Der AZ^_® TFP 650F-5 ist kompatibel mit allen handelsüblichen Wafern und Fotomasken Systemen und zeichnen sich durch folgende Merkmale aus:

• Hohe Photospeed
• Optimierte Lackhaftung
• Leichtes Lackentfernen nach Hardbake
• Hohe Resistenz gegen starke Ätzmittel

Gebindegrößen: 3,78 L Flaschen (1VE = 4 x 3,78 Liter)
Haltbarkeit: Übersicht kritischer Haltbarkeiten

Entwickler für den TFP 650F5 Resist:

Wir empfehlen AZ^_® 326 MIF Developer oder AZ^_® 726 MIF Developer (dieser enthält Netzmittel).

Remover:

Bei nicht quervernetzten Lackschichten eignen sich z.B. der AZ^_® 100 Remover, DMSO oder andere organische Lösemittel als Stripper. Wurde durch z.B. hohe Temperaturen (>140° C), Plasma oder Implantation die Lackschicht quervernetzt, empfiehlt sich der TechniStrip P1316 als NMP-freier Remover oder auch Technistrip P1331.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> AZ TFP 650 F (TDS)
> AZ TFP 650 F (Zusätzliche Informationen)