Lithoprotect® Gelblichtprodukte für den Gelbraum

UV-Sperrfilter ideal für die Photolithographie

Dieses Transmissionsspektrum ist nicht als Spezifikation, sondern als beispielhafte Messung an einem Los zu verstehen.

 

Anforderungen an geeignete Gelbfolien

Die spektrale Empfindlichkeit der meisten Fotolacke liegt nicht nur im nahen ultravioletten (Wellenlängen > 320 nm) Spektralbereich, sondern erstreckt sich auch in den sichtbaren Bereich des Spektrums. Selbst bei 435 nm (g-line) absorbieren die meisten Fotolacke noch sehr stark und diese Absorbtion liegt mitten im blauen Bereich des Spektrums und fällt ohne scharfe Kante zu größeren Wellenlängen hin ab.

Um zu gewährleisten, dass ein belacktes Substrat einige Stunden im Gelblicht liegen kann ohne dass die Lackschicht ungewollt belichtet wird, müssen Wellenlängen < 500 nm durch entsprechende optische Filter (Gelbfolie) unter die Nachweisgrenze geblockt werden.

Gleichzeitig sollten Gelbfolien oberhalb 540 nm Wellenlänge, also im Bereich des Empfindlichkeitsmaximums des menschlichen Auges, möglichst transparent sein. Mit diesen Bedingungen kann ein Gelbraum mit vertretbarem Energieaufwand hell ausgeleuchtet werden, ohne die Fotolackprozessierung zu beeinflussen.

Unsere selbstklebende Lithoprotect® Gelbfolie YSA520E212

Die selbstklebende Lithoprotect® UV-Schutz Gelbfolie YSA520E212 wurde speziell für UV-fotosensible Anwendungen entwickelt und blockt zuverlässig UV-Strahlung unterhalb von 520 nm. Die Lithoprotect® UV-Schutzfolie YSA520E212 besteht aus gelb-durchgefärbtem Cellulosetriacetat und ist einseitig mit einem permanenten Dispersionsklebstoff versehen, somit kann sie blasenfrei und ganzflächig auf jeglichen festen Oberflächen aufkaschiert werden. Durch die ganzflächige Verklebung z.B. auf Fensterscheiben, Raumteilern und Sichtschutzelementen bietet sie auch bei anspruchsvollen Anwendungen einen zuverlässigen UV-Schutz. Der selbstklebende UV-Sperrfilter kommt großflächig im Bereich der Photolithographie (Fotolithografie), der Leiterplatten- und Mikroelektronik-Fertigung, Druckplatten- und Fotolack-Herstellung sowie beim Umgang mit Fotoresisten und Diazofilmen zum Einsatz.

> Technisches Datenblatt DX YSA520E212 DE
> Technical Data Sheet DX YSA520E212 EN

> Montageanleitung DE
> Installation Instructions EN
> Montage Tutorial

Unsere Lithoprotect® Gelbfolie Y520E212

Die von uns vertriebene Lithoprotect® Gelbfolie Y520E212 blockt den Spektralbereich unter 500 nm Wellenlänge zuverlässig ab, und zeigt eine ausreichend hohe Transmission bei größeren Wellenlängen. Damit ist sie für den Einsatz in Reinräumen zur Verarbeitung aller gängigen Fotolacke bestens geeignet. Die Lithoprotect® UV-Schutz Gelbfolie Y520E212 kann wie Papier verarbeitet werden. Sie kann mit doppelseitigem Klebeband an Fenster, Sichtschutzelemente, Raumteiler, Lampen und vor Öffnungen geklebt werden. Wir empfehlen allerdings für großflächige Fensteranwendungen die selbstklebende Lithoprotect® UV-Schutz Gelbfolie YSA520E212.

> Technisches Datenblatt DX Y520E212 DE
> Technical data Sheet DX Y520E212 EN

Unsere Lithoprotect® UV-Filterröhren Y520E212 T5/T8

Für Leuchtmittel T5 und T8

Die Lithoprotect® UV-Filterröhren T5/T8 Y520E212 besitzen die gleichen hervorragenden Eigenschaften wie die UV-Gelblichtfolie. Sie blocken zuverlässig UV-Strahlung unterhalb von 520 nm und ist somit für den Einsatz in Gelbräumen geeignet. Ein klares Polycarbonatrohr bildet die äußere Hülle der Röhre. In dieser Röhre befindet sich eine Schicht aus gelb-durchgefärbtem Cellulosetriacetat. Mit den Lithoprotect® UV-Filterröhre T5/T8 Y520E212 können Sie kostengünstig aus normalen T5 und T8 Leuchtstoffröhren UV-freie Leuchtmittel für Gelblicht Anwendungen herstellen.

> Technisches Datenblatt DX Y520E212 T5 DE
> Technical data Sheet DX Y520E212 T5 EN
> Technisches Datenblatt DX Y520E212 T8 DE
> Technical data Sheet DX Y520E212 T8 EN

Unser Lithoprotect® Zubehör

Lithoprotect® Nahtband

Das Lithoprotect® Nahtband YST520E212 ist aus dem selben Material wie die selbstklebende UV-Schutz Gelbfolie YSA520E212. Aus diesem Grund treffen alle Angaben und Eigenschaften für die UV-Schutz Gelbfolie auch auf das Nahtband zu. Eingesetzt wird das Lithoprotect® Nahtband YST520E212 bei sehr großen zu beklebenden Flächen. Überschreitet die Größe Oberfläche, die maximale Breite der Folie, können zwei Folienbahnen Stoß an Stoß geklebt werden. Um sicher zu gehen, dass kein UV-Licht durch die Fuge gelangt, empfehlen wir den Spalt mit dem Nahtband YST520E212 abzukleben. Das Nahtband kann auch zum Überkleben von kritischen Randbereichen wie an Fensterrahmen oder ähnliches verwendert werden. Genauere Informationen hierzu erhalten Sie in unserer Montageanleitung.

> Technisches Datenblatt DX YST520E212 DE
> Technical Data Sheet DX YST520E212 EN

> Montageanleitung DE
> Installation Instructions EN
> Montage Tutorial

Lithoprotect® Montageflüssigkeit

Die Lithoprotect® Montageflüssigkeit DXMF301 wurde für eine effektive Nassverklebung von Selbstklebefolien entwickelt. DXMF301 ist gebrauchsfertig eingestellt und kann sofort verwendet werden. Sie ist optimal geeignet für unsere selbstklebende UV-Schutz Gelbfolie YSA520E212. Genauere Informationen hierzu erhalten Sie in unserer Montageanleitung.

> Technisches Datenblatt DXMF301 DE
> Technical Data Sheet DXMF301 EN

> Montageanleitung DE
> Installation Instructions EN
> Montage Tutorial

Preise und Verfügbarkeit

Jetzt ganz einfach online im Lithoprotect®-Shop bestellen!

> Lithoprotect® Shop

Unsere  aktuellen Preise und die Lithoprotect® Produktpalette mit genauen Maßangaben können Sie in unserer Preisliste einsehen:

> Lithoprotect® Preisliste DE
>
Lithoprotect® Price list EN

Ihre Anfrage für ein verbindliches Angebot richten Sie bitte an:

E-Mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0

Vielen Dank für Ihr Interesse!

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

NEU

Jetzt ganz einfach online im Lithoprotect®-Shop bestellen!
>
Lithoprotect®-Shop