HMDS
Wie funktioniert HMDS
HMDS bindet auf wasserfreien Oberflächen unter Ammoniak-Abspaltung mit seinem Si-Atom an Sauerstoffatome oxidierter Substrate. Die „nach oben“ gerichteten unpolaren Methylgruppen bilden eine hydrophobe Oberfläche mit entsprechend guter Lackbenetzung und -haftung.
Wie wird HMDS angewendet
Die korrekte Anwendung von HMDS ist außerordentlich wichtig für das Ergebnis: HMDS Dampf wird in einem sog. „Bubbler“ bei Raumtemperatur von trockenem Stickstoff aufgenommen und auf das beheizte (75 ... 120°C) Substrat geleitet auf dessen Oberfläche HMDS als Monolage chemisch bindet. Wird HMDS hingegen aufgeschleudert, ist die hierbei entstehende HMDS-Schicht wesentlich dicker. Nach der Belackung spaltet sich beim Softbake aus dem HMDS Ammoniak ab, welches die substratnahen Lackbereiche quervernetzt und so eine Durchentwicklung verhindern kann, zumindest aber sehr häufig die Ursache von Scumming ist!
Gebindegrößen: 1L Flaschen
Haltbarkeit: Übersicht kritischer Haltbarkeiten
Technisches Datenblatt:
Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> HMDS (SPEC)
> Substratreinigung und Haftvermittlung.pdf
Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten
Mögliche Versandeinheiten:
- 1L Flaschen (1VE = 12 x 1L oder Einzelflaschen)
Mögliche Reinheitsgrade:
- VLSI
Haltbarkeit:
Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage.
In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe national auch per Express innerhalb 24 Std. liefern.
Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.
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