TI Prime

Die Anwendung von TI Prime (Titanhaltig, daher nicht für Prozesse geeignet bei welchen Titan ein Problem darstellt) gestaltet sich einfacher als die von HMDS. TI Prime wird aufgeschleudert, wobei durch die hohe Verdünnung der aktiven Substanz weniger als eine Monolage auf dem Substrat adsorbiert. In einem anschließenden Backschritt wird der Haftvermittler aktiviert, worauf die Belackung folgt.

> Mehr Informationen dazu finden Sie im Technischen Datenblatt TI_Prime.
> Allgemeine Informationen dazu: (Schlechte) Lackhaftung, Substratreinigung und Haftvermittlung

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet: Technische Infos.

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