AZ® EBR Solvent

Schichtdickenbereich und Belichtung

Kompatibel mit: Allen positiv und image reversal Resisten aus unserem Sortiment. Dieses Produkt ist auch für AZ nLof 2070 geeignet. 
Gebindegrößen: 1VE = 4 x 5 Liter (Einzelflaschen mit 5 L und 1 Liter erhältlich)

Generelle Informationen

AZ® EBR Solvent ist ein Lösungsmittel zur Verdünnung von Fotolack und ist aber auch für die Randentlackung (EBR, edge bead remover) geeignet. Es besteht aus reinem PGMEA und hatte früher auch die Bezeichnung AZ 1500 thinner. Heute wird es allerdings nur noch unter dem Markennamen "AZ EBR Solvent" vertrieben.

Mehr Informationen dazu: AZ EBRs.pdf

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet: Technische Infos.

®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.