Lithoprotect® Gelblichtprodukte für den Gelbraum

UV-Sperrfilter ideal für die Fotolithographie

 

Anforderungen an geeignete Gelbfolien

Die spektrale Empfindlichkeit der meisten Fotolacke liegt nicht nur im nahen ultravioletten (Wellenlängen > 320 nm) Spektralbereich, sondern erstreckt sich auch in den sichtbaren Bereich des Spektrums. Selbst bei 435 nm (g-line) absorbieren die meisten Fotolacke noch sehr stark und diese Absorbtion liegt mitten im blauen Bereich des Spektrums und fällt ohne scharfe Kante zu größeren Wellenlängen hin ab.

Um zu gewährleisten, dass ein belacktes Substrat einige Stunden im Gelblicht liegen kann ohne dass die Lackschicht ungewollt belichtet wird, müssen Wellenlängen < 500 nm durch entsprechende optische Filter (Gelbfolie) unter die Nachweisgrenze geblockt werden.

Gleichzeitig sollten Gelbfolien oberhalb 540 nm Wellenlänge, also im Bereich des Empfindlichkeitsmaximums des menschlichen Auges, möglichst transparent sein. Mit diesen Bedingungen kann ein Gelbraum mit vertretbarem Energieaufwand hell ausgeleuchtet werden, ohne die Fotolackprozessierung zu beeinflussen.

Dieses Transmissionsspektrum ist nicht als Spezifikation, sondern als beispielhafte Messung an einem Los zu verstehen.

Lithoprotect® Eigenschaften

Die Lithoprotect® UV-Schutz Produkte wurden speziell für UV-fotosensible Anwendungen entwickelt und blockieren zuverlässig UV-Strahlung unterhalb von 520 nm. Die Lithoprotect® UV-Schutz Produkte bestehen aus gelb-durchgefärbtem Cellulosetriacetat. Aufgrund der Durchfärbung kann auch bei anspruchsvollen Anwendungen ein zuverlässiger UV-Schutz unterhalb von 520 nm garantiert werden. Der UV-Sperrfilter findet Anwendung im Bereich der Fotolithographie, der Leiterplatten- und Mikroelektronik-Fertigung, Druckplatten- und Fotolack-Herstellung sowie beim Umgang mit Fotoresisten und Diazofilmen. Selbst in der Pharma-Forschung, -Entwicklung und –Produktion kommen unsere Folien zum Einsatz.
Die Lithoprotect® Gelbfolie Y520E212 ist wasserfest und beständig gegen Öle‚ Fette, Benzine und aliphatische Kohlenwasserstoffe. Die Gelbfolie wird von  Chlorkohlenwasserstoffen, Ketonen aromatischen Lösungsmitteln angelöst bzw. aufgequollen. Dies kann die optischen Eigenschaften beeinträchtigen. Die UV-Schutzfolie ist nicht beständig gegen konzentrierte Säuren und Laugen. In diesen Substanzen wird die Folie angegriffen.

Lithoprotect® Anwendungsbereiche

Die Lithoprotect® UV-Schutz Gelbfolie Y520E212 kann wie Papier verarbeitet werden. Sie kann mit doppelseitigem Klebeband an Fenster,  Sichtschutzelemente, Raumteiler, Lampen und vor Öffnungen geklebt werden. Für großflächige Fensteranwendungen empfehlen wir unsere Lithoprotect® UV-Schutz Gelbfolie YSA520E212 selbstklebend. Die Lithoprotect® UV-Schutz Gelbfolie YSA520E212 selbstklebend kann mit der Montageflüssigkeit DXMF301 problemlos und blasenfrei auf jeglichen glatten und festen Oberflächen verklebt werden.
Zum Filtern von Leuchtstoffröhren bieten durXtreme Ihnen spezielle Polycarbonat-Hülsen (Y520E212 T5 und Y520E212 T8) an, in die der Lithoprotect® UV Sperrfilter eingearbeitet ist, so können Sie kostengünstig aus normalen Leuchtstoffröhren UV-freie Leuchtmittel (Gelblicht) herstellen.

Wir empfehlen die Lithoprotect® Produkte zur Filterung kurzwelliger Strahlung für die Prozessierung von Fotochemikalien, die sich in Folie (selbstklebend und nicht-selbstklebend) sowie fertig mit Filterfolie bestückte Hülsen für Leuchtstoffröhren gliedern.

Erhältlich sind die aufgeführten Lithoprotect® Produkte bei unserer Partnerfirma durXtreme GmbH.

Lithoprotect® Produkte

UV-Schutz Gelbfolie

> Lithoprotect® UV-Schutz Gelbfolie Y520E212
> Lithoprotect® UV-Schutz Gelbfolie YSA520E212 selbstklebend

Filterröhren

> Lithoprotect® UV-Schutz Filterröhren Y520E212 T5 für Leuchtmittel T5
> Lithoprotect® UV-Schutz Filterröhren Y520E212 T8 für Leuchtmittel T8

Zubehör

> Lithoprotect® Nahtband YST520E212
> Lithoprotect® Montageflüssigkeit DXMF301
>
Lithoprotect® Kunststoffrakel DXRA100


Bei Interesse an Gelblichtprodukten von Lithoprotect®, Fragen zur Anwendung oder technischen Informationen wenden Sie sich bitte an unseren Partner durXtreme. Bestellungen können Sie auch ganz bequem über den Lithoprotect® Online-Shop aufgeben.

durXtreme GmbH
Nicolaus-Otto-Str. 39
89079 Ulm
Germany

Web: www.lithoprotect.com
Mail: info(at)lithoprotect.com
Tel.: +49 (0) 731 36080916
Fax: +49 (0) 731 36080917

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info