AU etch 200

Goldätzmittel

Allgemein Informationen

Au etch 200 ist ein ungiftiges, cyanidfreies Goldätzmittel mit leicht alkalischem pH-Wert und wird eingesetzt für die nasschemische Strukturierung von Goldschichten mit Selektivität zu Metallen wie Pt, Ni, Cr, Ti, Al. Übliche Anwendungsfelder finden sich in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik.

Eigenschaften

  • geringe Unterätzung (im Bereich der Schichtdicke), Strukturauflösung unter 1μm
  • Selektivität zu vielen Materialien, u.a. zu Metallen aus Galvanotechnik
  • erhältlich in verschiedenen Reinheitsgraden
  • kompatibel zu Lackmasken
  • ungiftig und leicht handhabbar

Selektivität

Au etch 200 ist kompatibel/ätzt selektiv zu folgenden Materialien:

  • Lacke: handelsüblicher Novolak als Maskierlack (z.B. AZ® Photoresist)
  • Metalle: kein Angriff Cr, Pt, Ni, Ti, Ta, Al; Cu wird angegriffen
  • Halbleitermaterialien: Si, SiO2, Si3N4
    (weitere Angaben auf Anfrage)

Ätzrate

Die Ätzrate für Gold beträgt üblicherweise ca 40nm/min (bei 50°C). Die fertige Ätzlösung ist dauerstabil und kann je nach Anforderung mehrfach verwendet werden. Es wird  empfohlen, die Lösung spätestens zu verwerfen, wenn die Ätzrate sich um 20% reduziert hat.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> AU etch 200 (TDS)
> Nasschemisches Ätzen
> Nasschemisches Ätzen Metalle

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Mögliche Versandeinheiten:

  • 1 Liter und 5 Liter Gebinde

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

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