Cr etch 200

Chromätzmittel

Allgemein Informationen

Cr etch 200 ist ein alkalisches Ätzmittel für die Strukturierung oder Entfernung von dünnen Cr Schichten mit Selektivität zu Metallen wie Au, Pt, Cu, Ni, Ti, Ta. Übliche Anwendungsfelder finden sich in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, z.B.

  • für die nasschemische Strukturierung von dünnen Chromschichten unter Einsatz von Lackmasken
  • bei der Entfernung von Startschichten (z.B. Cr/Au oder Cr/Cu) nach erfolgter Galvanik, wo dünne Chromschichten als Haftvermittler oder Barriereschichten entfernt werden sollen.

Eigenschaften

  • geringe Unterätzung, Strukturauflösung unter 1μm
  • Selektivität zu vielen Materialien, u.a. zu Metallen aus Galvanotechnik
  • erhältlich in verschiedenen Reinheitsgraden bis hin zur Halbleiteranwendung
  • kompatibel zu Lackmasken
  • Einsatz bei Raumtemperatur

Selektivität

Cr etch 200 ist kompatibel/ätzt selektiv zu folgenden Materialien:

  • Lacke: handelsüblicher Novolak als Maskierlack (z.B. AZ® Photoresist)
  • Metalle: Au, Pt, Cu, Ni, Ti, Ta; TiW bedingt
  • Halbleitermaterialien: Si, SiO2, Si3N4
    (weitere Angaben auf Anfrage)

Ätzrate

Die Ätzrate beträgt üblicherweise 12 – 15 nm/min. Eine 30nm dicke Chrom-Schicht (gesputtert wird in ca. 150 Sekunden strukturiert entfernt). Die Ätzlösung ist dauerstabil und kann je nach Anforderung mehrfach verwendet werden. Es wird empfohlen, die Lösung spätestens zu verwerfen, wenn die Ätzrate sich um 20% reduziert hat.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> CR etch 200 (TDS)
> Nasschemisches Ätzen
> Nasschemisches Ätzen Metalle

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Mögliche Versandeinheiten:

  • 1 Liter und 5 Liter Gebinde

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
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Fax: +49 (0)731 977 343 29

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