Cr etch 210

Allgemein Informationen

Cr-etch-210 ist ein alkalisches Ätzmittel für die Strukturierung oder Entfernung von dünnen Cr-Schichten mit Selektivität zu Metallen wie Au, Sn, Pt, Cu, Ni, Ti, Ta. Übliche Anwendungsfelder finden sich in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, z.B.

• für die nasschemische Strukturierung von dünnen Chromschichten unter Einsatz von Lackmasken
• bei der Entfernung von Startschichten (z.B. Cr/Au oder Cr/Cu) nach erfolgter Galvanik, wo dünne Chromschichten als Haftvermittler oder Barriereschichten entfernt werden sollen.

Eigenschaften

• geringe Unterätzung, Strukturauflösung unter 1μm
• Selektivität zu vielen Materialien, u.a. zu Metallen aus Galvanotechnik
• erhältlich in verschiedenen Reinheitsgraden bis hin zur Halbleiteranwendung
• kompatibel zu Lackmasken
• Einsatz bei Raumtemperatur
• Erhöhung der Ätzrate durch Erhöhung der Temperatur auf 40 °C

Selektivität

Cr etch 210 ist kompatibel/ätzt selektiv zu folgenden Materialien:

• Lacke: handelsüblicher Novolak als Maskierlack (z.B. AZ^® Photoresist)
• Metalle: Au, Sn, Pt, Cu, Ni, Ti, Ta; TiW bedingt
• Halbleitermaterialien: Si, SiO2, Si3N4 (weitere Angaben auf Anfrage)

Ätzrate

Die Ätzrate beträgt üblicherweise 10 bis 15 nm/min bei 40 °C, bei RT entsprechend weniger. Eine 30nm dicke Chrom-Schicht (gesputtert) wird in ca. 180 Sekunden bei Raumtemperatur strukturiert/entfernt. Die Ätzlösung ist dauerstabil und kann je nach Anforderung mehrfach verwendet werden. Es wird empfohlen, die Lösung spätestens zu verwerfen, wenn die Ätzrate sich um 20% reduziert hat.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> CR etch 210 (TDS)
> Nasschemisches Ätzen
> Nasschemisches Ätzen Metalle

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Mögliche Versandeinheiten:

• 1 Liter und 5 Liter Gebinde

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

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