Cr etch 210

Chromätzmittel

Allgemein Informationen

Cr-etch-210 ist ein alkalisches Ätzmittel für die Strukturierung oder Entfernung von dünnen Cr-Schichten mit Selektivität zu Metallen wie Au, Sn, Pt, Cu, Ni, Ti, Ta. Übliche Anwendungsfelder finden sich in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, z.B.

  • für die nasschemische Strukturierung von dünnen Chromschichten unter Einsatz von Lackmasken
  • bei der Entfernung von Startschichten (z.B. Cr/Au oder Cr/Cu) nach erfolgter Galvanik, wo dünne Chromschichten als Haftvermittler oder Barriereschichten entfernt werden sollen.

Eigenschaften

  • geringe Unterätzung, Strukturauflösung unter 1μm
  • Selektivität zu vielen Materialien, u.a. zu Metallen aus Galvanotechnik
  • erhältlich in verschiedenen Reinheitsgraden bis hin zur Halbleiteranwendung
  • kompatibel zu Lackmasken
  • Einsatz bei Raumtemperatur
  • Erhöhung der Ätzrate durch Erhöhung der Temperatur auf 40 °C

    Selektivität

    Cr etch 210 ist kompatibel/ätzt selektiv zu folgenden Materialien:

    • Lacke: handelsüblicher Novolak als Maskierlack (z.B. AZ® Photoresist)
    • Metalle: Au, Sn, Pt, Cu, Ni, Ti, Ta; TiW bedingt
    • Halbleitermaterialien: Si, SiO2, Si3N4 (weitere Angaben auf Anfrage)

      Ätzrate

      Die Ätzrate beträgt üblicherweise 10 bis 15 nm/min bei 40 °C, bei RT entsprechend weniger. Eine 30nm dicke Chrom-Schicht (gesputtert) wird in ca. 180 Sekunden bei Raumtemperatur strukturiert/entfernt. Die Ätzlösung ist dauerstabil und kann je nach Anforderung mehrfach verwendet werden. Es wird empfohlen, die Lösung spätestens zu verwerfen, wenn die Ätzrate sich um 20% reduziert hat.

      Technisches Datenblatt:

      Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
      > CR etch 210 (TDS)
      > Nasschemisches Ätzen
      > Nasschemisches Ätzen Metalle

       

      Fotolithografie Anwendungshinweise

      Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
      > Technische Info

      Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

      Mögliche Versandeinheiten:

      • 1 Liter und 5 Liter Gebinde

      Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

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