AZ® 10XT

Dicklacke für hohe Auflösungen

Resist-Typen, Schichtdickenbereich und Belichtung

Resist-Typen:
AZ
® 10XT 520CP: für Schichtdickenbereiche von 5 ... 20 µm
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml 2.5 L und 3.78 L

AZ® 10XT 220CP: für Schichtdickenbereiche von 4 ... 6 µm
UV-Empfindlichkeit: i- und h-line (310 - 410 nm), NICHT g-line empfindlich
Gebindegrößen: 3.78 L

Allgemeine Informationen

Die Lacke der AZ® 10XT Serie besitzen, verglichen mit den AZ® 4500 Dicklacken, eine noch geringere optische Absorption, was die Durchbelichtung auch sehr dicker Lackschichten erleichtert. Dadurch und durch die fehlende Absorption bei g-line (435 nm) benötigt die AZ® 10XT Serie eine höhere Belichtungsdosis und weist eine geringere Entwicklungsrate unter sonst gleichen Bedingungen auf.

Geringere Schichtdicken werden über eine Verdünnung mit PGMEA = AZ® EBR Solvent erreicht:

  • 4.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 10XT+ 13 g PGMEA
  • 3.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 10XT+ 23 g PGMEA
  • 2.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 10XT+ 42 g PGMEA
  • 1.5 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 10XT+ 55 g PGMEA
  • 1.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 10XT+ 88 g PGMEA

Der AZ 10 XT ist eine PFOS-freie Alternative zum 2019 eingestellten AZ 9260.

Entwickler

AZ® 400K 1 : 4 oder AZ® 726 MIF empfohlen (AZ® 351B oder AZ® 326 MIF, AZ® 826 MIF sind möglich).

Bei sehr großen Lackschichtdicken von mehreren 10 µm kann der AZ® 400K als höher konzentrierte 1 : 3.5 ... 1 : 3.0 Verdünnung eingesetzt werden, um die Entwicklungsdauer zu verkürzen.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
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AZ 10XT Serie (TDS)

®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.