AZ® 10XT

Dicklacke für hohe Auflösungen

! ALTERNATIVPRODUKT FÜR AZ 9260 !

Diese Woche (KW34) hat uns der Hersteller Merck, dessen Vertriebspartner wir sind, davon in Kenntnis gesetzt, dass aufgrund eines Inhaltsstoffes (eines auf PFOS basierende Tensids) die Lacke AZ 9260 und AZ 9245 ab sofort nicht mehr verfügbar sind und auch nicht mehr in Verkehr gebracht werden dürfen, entsprechend auch keine verkäuflichen Restbestände mehr vorhanden sind. Das offizielle Schreiben des Herstellers haben wir Ihnen zusammen mit einem entsprechend aktualisierten MSDS unten beigefügt.

Es existiert mit dem AZ 10 XT jedoch eine PFOS-freie, sonst mit dem AZ 9260 weitestgehend identische Alternative, welche es Ihnen erlauben sollte, ihre bisherigen Prozesse mit den gleichen Parametern und gleichen Resultaten weiterzuführen.

Zu diesem Lack lassen wir Ihnen gerne Muster zukommen. Bitte kontaktieren Sie uns: sales(at)microchemicals.de

Vielen Dank für Ihr Verständnis!

> Anschreiben
> AZ 10XT vs. AZ 9260

> TDS AZ 10XT

> MSDS AZ 9260
> MSDS AZ 9245
> MSDS AZ 10XT (520 CP)
> MSDS AZ 10XT (220 CP)

Resist-Typen, Schichtdickenbereich und Belichtung

Resist-Typen:
AZ
® 10XT 520CP: für Schichtdickenbereiche von 5 ... 20 µm
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml 2.5 L und 3.78 L

AZ® 10XT 220CP: für Schichtdickenbereiche von 4 ... 6 µm
UV-Empfindlichkeit: i- und h-line (310 - 410 nm), NICHT g-line empfindlich
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml 2.5 L und 3.78 L

Allgemeine Informationen

Die Lacke der AZ® 10XT Serie besitzen, verglichen mit den AZ® 4500 Dicklacken, eine noch geringere optische Absorption, was die Durchbelichtung auch sehr dicker Lackschichten erleichtert. Dadurch und durch die fehlende Absorption bei g-line (435 nm) benötigt die AZ® 10XT Serie eine höhere Belichtungsdosis und weist eine geringere Entwicklungsrate unter sonst gleichen Bedingungen auf.

Geringere Schichtdicken werden über eine Verdünnung mit PGMEA = AZ® EBR Solvent erreicht:

  • 4.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 10XT+ 13 g PGMEA
  • 3.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 10XT+ 23 g PGMEA
  • 2.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 10XT+ 42 g PGMEA
  • 1.5 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 10XT+ 55 g PGMEA
  • 1.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 10XT+ 88 g PGMEA

Entwickler

AZ® 400K 1 : 4 oder AZ® 726 MIF empfohlen (AZ® 351B oder AZ® 326 MIF, AZ® 826 MIF sind möglich).

Bei sehr großen Lackschichtdicken von mehreren 10 µm kann der AZ® 400K als höher konzentrierte 1 : 3.5 ... 1 : 3.0 Verdünnung eingesetzt werden, um die Entwicklungsdauer zu verkürzen.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
>
AZ® 10XT Serie (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.