AZ® 12XT-20PL-10

AZ® 12XT-20PL-10 und AZ® 12XT-20PL-15 - Chemisch verstärkte Positiv-Photoresist

Allgemeine Informationen

Der AZ® 12XT-20PL-10 ist ein chemisch verstärkter Positiv-Dicklack mit sehr hoher Photospeed und großem Aspektverhältnis, durch seine Stabilität geeignet z. B. als Lackmaske für die galvanische Abscheidung oder RIE Prozesse. Auch bei hohen Schichtdicken benötigt der AZ® 12XT-20PL-10 vergleichsweise kurze Softbakezeiten, keine Rehydrierung vor der Belichtung, und dank seiner chemischen Verstärkung nur geringe Lichtdosen bei gleichzeitig hoher Entwicklungsrate

Gebindegrößen: 100 ml, 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2,5 L und 3,78 L

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> AZ® 12XT (TDS)

AZ 12 XT (2.4 ?m Lackstege bei 0 ?m Lackschichtdicke)
®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.