AZ® 1500-Serie

Positiv-Dünnlacke fürs Nassätzen

Herausragende Eigenschaften

Die AZ® 1500 Serie ist eine Serie dünner Positivlacke, deren hohes Auflösungspotenzial und optimierte Haftung diese Lacke zu einer geeigneten Maskierung für nasschemisches Ätzen macht.

  • Hohe Lackhaftung für nasschemisches Ätzen
  • Breites Parameterfenster für stabile und reproduzierbare Prozesse
  • Kompatibel mit allen gängigen Entwicklern (NaOH-, KOH- oder TMAH-basiert)
  • Hohe Entwicklungsrate
  • Kompatibel mit allen gängigen Strippern (z. B. mit AZ® 100 Remover, organischen Lösemitteln oder alkalisch)
  • g-, h- und i-line empfindlich (ca. 320 - 440 nm)
  • Lackschichtdickenbereich ca. 0.5 - 3 µm

Die AZ® 1500 Familie deckt die folgenden Fotolacke ab:

AZ® 1505

Hochauflösend für z. B. Fotomasken-Herstellung

Der AZ® 1505 ist der Lack mit dem höchsten Auflösungspotenzial der AZ® 1500 Serie, und wird deshalb zur Maskenherstellung verwendet. Lackschichtdicke bei 4000 U/min: ca. 500 nm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 400 - 800 nm erzielbar.

Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml und 5 L

AZ® 1512 HS

Maximierter Kontrast

Der AZ® 1512 HS zeigt durch seinen sehr hohen Fotoinitiator-Gehalt einen ausgezeichneten Kontrast (sehr hohe Entwicklungsrate, minimierter Dunkelabtrag). Lackschichtdicke bei 4000 U/min: ca. 1.3 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 1.0 - 1.8 µm erzielbar.

Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml und 5 L

AZ® 1514 H

Optimierte Lackhaftung

Der AZ® 1514 H weist selbst innerhalb der AZ® 1500 Serie eine weiter optimierte Haftung v. a. auf vielen Metallen auf. Lackschichtdicke bei 4000 U/min: ca. 1.4 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 1.1 - 2 µm erzielbar.

Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml und 5 L

AZ® 1518 

Der AZ® 1518 besitzt innerhalb der verfügbaren AZ® 1500 die größte Lackschichtdicke für stabile Ätzprozesse. Lackschichtdicke bei 4000 U/min: ca. 1.8 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 1.5 - 3 µm erzielbar.

Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2,5 L und 5 L

AZ® 1518 HS

Der AZ® 1518 HS zeichnet sich durch eine optimierte Haftung und eine sehr hohe Entwicklungsrate aus. Die Lackschichtdicke beträgt bei 4000 U/min: ca. 1.8 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl sind Lackschichtdicken von ca. 1.45-2.5 µm erzielbar.

Gebindegrößen:  5 L

AZ® 1529

Durch die hohe Fotoinitiator-Konzentration ist die AZ® 1500 Serie nur bedingt für Schichtdicken > 3 µm geeignet, da sonst die Gefahr der N2-Bläschenbildung beim Belichten steigt. Aus diesem Grund bieten wir den AZ® 1529 nicht mehr an. Für Lackschichtdicken ab 3 µm empfehlen wir daher den AZ® 4533 oder AZ® ECI 3027, beide ebenfalls mit ausgezeichneter Lackhaftung, aber geringerem Fotoinitiator-Gehalt. 

Höhere Verdünnungen für Lackschichtdicken < 1 µm?

Fotoinitiatorreiche, hoch verdünnte Lacke neigen zu beschleunigter Alterung, u. U. begleitet von Partikelbildung. Aus diesem Grund ist für Schichtdicken < 0.5 µm entweder der thermisch ebenso stabile AZ® 701 MiR oder der auf maximale Lackhaftung optimierte AZ® ECI 3007 empfohlen. Diese beiden Lacke können auf Schichtdicken bis 200 - 300 nm verdünnt werden.

Lackschichtdicken > 3 µm?

Durch den hohen Fotoinitiatorgehalt ist ein Aufbau von Lackschichtdicken > 5 µm mit der AZ® 1500 Serie nicht empfohlen, da hierbei die Gefahr von N2-Blasenbildung beim Belichten besteht. Für Schichtdicken ab 3 µm empfehlen sich die Lacke der AZ® 4533 oder AZ® ECI 3027, ab 5 µm geforderter Lackschichtdicke der AZ® 4562 oder AZ® 9260. Diese Lacke zeigen ebenfalls eine sehr gute Lackhaftung.

Entwickler für die AZ® 1500 Lacke

Wenn metallionenhaltig entwickelt werden darf, ist der NaOH-basierte AZ® 351B in einer 1 : 4 Verdünnung (für Auflösungen unter 1 µm auch 1 : 5 bis 1 : 6 verdünnt) der geeignete Entwickler.

Der KOH-basierte AZ® 400K (ebenfalls als 1 : 4 - 1 : 6 Verdünnung) ist wegen seiner etwas geringeren Selektivität zwar möglich, aber im Hinblick auf hohe Auflösung und steile Lackflanken weniger empfohlen.

Ist Metallionenfreiheit gefordert, empfehlen sich die TMAH-basierten Entwickler AZ® 326 MIF oder AZ® 726 MIF, entweder unverdünnt oder, für maximale Auflösung bei dünnen Lackschichen mäßig 3 : 1 bis 2 : 1 (3 Teile Developer : 1 Teil destilliertes Wasser) verdünnt.

Remover für die AZ® 1500 Lacke

Bei nicht quervernetzten Lackschichten eignen sich z. B. der AZ® 100 Remover, DMSO oder andere organische Lösemittel als Stripper. Wurde durch z. B. hohe Temperaturen (> 140°C), Plasma-Prozesse oder Implantation die Lackschicht quervernetzt, empfiehlt sich der TechniStrip P1316 als NMP-freier Remover.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt der AZ® 1500 Lackserie mit weiteren technischen Informationen finden Sie hier:
> AZ® 1500 Serie (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

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