AZ® 4500 Serie

Dicklacke mit optimierter Haftung

Herausragende Eigenschaften

Bei der AZ® 4500 Serie handelt es sich um positive Dicklacke mit optimierter Lackhaftung, welche deshalb bevorzugt für nasschemische Prozesse wie Ätzen oder Galvanik eingesetzt werden.

  • Optimierte Lackhaftung für nasschemische Prozesse
  • Mittlere und hohe Lackschichtdicken bis ca. 30 µm prozessierbar
  • Breites Parameterfenster für stabile und reproduzierbare Prozesse
  • Kompatibel mit gängigen Entwicklern (KOH- oder TMAH-basiert)
  • Kompatibel mit allen gängigen Strippern (z. B. mit AZ 100 Remover, organischen Lösemitteln oder alkalisch)
  • g-, h- und i-line empfindlich (ca. 320 - 440 nm)
  • Lackschichtdickenbereich ca. 3 - 30 µm

Die Vertreter der AZ® 4500 Familie (AZ® 4533 und AZ® 4562) unterscheiden sich im Lösemittelgehalt und erlauben damit mit einem Lacksystem einen großen Lackschichtdickenbereich:

AZ® 4533

Lackschichtdicke bei 4000 U/min: ca. 3.3 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 2.5 - 5 µm erzielbar.

Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2,5 L und 5 L

AZ® 4562

Lackschichtdicke bei 4000 U/min: ca. 6 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 4.5 - 10 µm erzielbar, über angepasste Scheuderprofile (kurze Schleuderzeiten bei mittlerer Schleuderdrehzahl) bis ca. 30 µm via Einfachbelackung möglich.

Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2,5 L und 5 L

Größere Lackschichtdicken (> 20 µm)?

Zwar kann der AZ® 4562 theoretisch deutlich dicker als 30 µm aufgebracht und prozessiert werden. Dabei ergeben sich jedoch durch lange Zeiten für Softbake, Rehydrierung und Entwicklung zunehmend unzumutbare Prozesszeiten, zudem die Gefahr der N2-Bläschenbildung beim Belichten. Ab Lackschichtdicken von 20 µm empfehlen wir den chemisch verstärkten AZ® 40 XT, der deutlich zügigere Prozesszyklen erlaubt.

Entwickler für die AZ® 4500 Lacke

Wenn metallionenhaltig entwickelt werden darf, ist der KOH-basierte AZ® 400K in einer 1 : 4 Verdünnung (für größere Lackschichtdicken auf bis 1 : 3.5 oder 1 : 3 anwendbar) der geeignete Entwickler.

Ist Metallionenfreiheit gefordert, empfehlen sich die TMAH-basierten Entwickler AZ® 326 MIF, AZ® 726 MIF oder AZ® 826 MIF (unverdünnt).

Remover für die AZ® 4500 Lacke

Bei nicht quervernetzten Lackschichten eignen sich z. B. der AZ® 100 Remover, DMSO oder andere organische Lösemittel als Stripper. Wurde durch z. B. hohe Temperaturen (> 140°C), Plasma-Prozesse oder Implantation die Lackschicht quervernetzt, empfiehlt sich der TechniStrip P1316 als NMP-freier Remover.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
>
AZ® 4500 series (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

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Vielen Dank für Ihr Interesse.

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