AZ® 9200-Serie

Dicklacke für hohe Auflösungen

Resist-Typen, Schichtdickenbereich und Belichtung

Resist-Typen:
AZ
® 9260: für Schichtdickenbereiche von 5 ... 20 µm
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml 2.5 L und 3.78 L

AZ® 9245: für Schichtdickenbereiche von 4 ... 6 µm
Gebindegrößen: 3.78 L (Gallone)

Zusätzlich gibt es die von MicroChemicals aus dem AZ® 9260 durch Verdünnung hergestellten Varianten um auch die dünneren Varianten in kleinen Gebinden anbieten zu können.

AZ® 9245: AZ® 9260 dil. 1:0,11 4.5 µm (für Schichtdickenbereiche von 4 ... 6 µm)
UV-Empfindlichkeit: i- und h-line (310 - 410 nm), NICHT g-line empfindlich
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2.5 L und 5 L

Allgemeine Informationen

Die Lacke der AZ® 9200 Serie besitzen, verglichen mit den AZ® 4500 Dicklacken, eine noch geringere optische Absorption, was die Durchbelichtung auch sehr dicker Lackschichten erleichtert. Dadurch und durch die fehlende Absorption bei g-line (435 nm) benötigt die AZ® 9200 Serie eine höhere Belichtungsdosis und weist eine geringere Entwicklungsrate unter sonst gleichen Bedingungen auf.

Geringere Schichtdicken werden über eine Verdünnung mit PGMEA = AZ® EBR Solvent erreicht:

  • 4.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 9260 + 13 g PGMEA
  • 3.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 9260 + 23 g PGMEA
  • 2.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 9260 + 42 g PGMEA
  • 1.5 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 9260 + 55 g PGMEA
  • 1.0 µm @ 4.000 U/min: 100 g AZ® 9260 + 88 g PGMEA

Entwickler

AZ® 400K 1 : 4 oder AZ® 726 MIF empfohlen (AZ® 351B oder AZ® 326 MIF, AZ® 826 MIF sind möglich).

Bei sehr großen Lackschichtdicken von mehreren 10 µm kann der AZ® 400K als höher konzentrierte 1 : 3.5 ... 1 : 3.0 Verdünnung eingesetzt werden, um die Entwicklungsdauer zu verkürzen.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
>
AZ® 9200 Serie (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

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E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
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Vielen Dank für Ihr Interesse.

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