AZ® ECI 3000
Hochauflösend mit großem Prozessfenster
Herausragende Eigenschaften
Die AZ® ECI 3000 Serie ist eine moderne Neuentwicklung von Positivlacken, deren hohes Aufklösungspotenzial und breites Prozessfenster die Grenze dessen darstellt, was noch ohne die Verwendung von Tief-UV Lacken erzielt werden kann:
- Sehr hohe Auflösung
- Optimierte Lackhaftung für nasschemische Prozesse
- Steile Flanken und hohe Aspektverhältnisse für trockenchemisches Ätzen
- Breites Parameterfenster für stabile und reproduzierbare Prozesse
- Kompatibel mit allen gängigen Entwicklern (NaOH-, KOH- oder TMAH-basiert)
- Kompatibel mit allen gängigen Strippern (z. B. mit AZ® 100 Remover, organischen Lösemitteln oder alkalisch)
- g-, h- und i-line empfindlich (ca. 320 - 440 nm)
- Lackschichtdickenbereich ca. 0.5 - 5 µm
Die Vertreter der AZ® ECI 3000 Familie (AZ® ECI 3027, AZ® ECI 3012 und AZ® ECI 3007) unterscheiden sich im Lösemittelgehalt und erlauben damit mit einem Lacksystem einen großen Lackschichtdickenbereich:
AZ® ECI 3007
Lackschichtdicke bei 4000 U/min: 0.7 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 0.5 - 1 µm erzielbar. Die Kleingebinde (250 ml - 2.500 ml) stellen wir als Verdünnung aus dem AZ® ECI 3027 her ('AZ® ECI 3027 0.7 µm grade').
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2.5 L und 5 L
Haltbarkeit: Übersicht kritischer Haltbarkeiten
AZ® ECI 3012
Lackschichtdicke bei 4000 U/min: 1.2 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 1.0 - 2.2 µm erzielbar.
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2.5 L und 5 L
AZ® ECI 3027
Lackschichtdicke bei 4000 U/min: 2.7 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 2 - 5 µm erzielbar.
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2.5 L und 5 L
Entwickler für die AZ® ECI 3000 Lacke
Wenn metallionenhaltig entwickelt werden darf, ist der NaOH-basierte AZ® 351 B in einer 1 : 4 Verdünnung (für Schichtdicken oder Auflösungen unter 1 µm auch 1 : 5 bis 1 : 6 verdünnt) der geeignete Entwickler.
Der KOH-basierte AZ® 400K (ebenfalls als 1 : 4 - 1 : 6 Verdünnung) ist wegen seiner etwas geringeren Selektivität zwar möglich, aber im Hinblick auf hohe Auflösung und steile Lackflanken weniger empfohlen.
Ist Metallionenfreiheit gefordert, empfehlen sich die TMAH-basierten Entwickler AZ® 326 MIF oder AZ® 726 MIF, entweder unverdünnt oder, für maximale Auflösung bei dünnen Lackschichen mäßig 3 : 1 bis 2 : 1 (3 Teile Developer : 1 Teil destilliertes Wasser) verdünnt.
Remover für die AZ® ECI 3000 Lacke
Bei nicht quervernetzten Lackschichten eignen sich z. B. der AZ® 100 Remover, DMSO oder andere organische Lösemittel als Stripper. Wurde durch z. B. hohe Temperaturen (> 140°C), Plasma-Prozesse oder Implantation die Lackschicht quervernetzt, empfiehlt sich der TechniStrip P1316 als NMP-freier Remover.
Technisches Datenblatt:
Das technische Datenblatt zur AZ® ECI 3000 Serie mit weiteren technischen Informationen finden Sie hier:
> AZ® ECI 3000 series (TDS)
> AZ® ECI 3012 (TDS)