AZ® ECI 3000

Hochauflösend mit großem Prozessfenster

Herausragende Eigenschaften

Die AZ® ECI 3000 Serie ist eine moderne Neuentwicklung von Positivlacken, deren hohes Aufklösungspotenzial und breites Prozessfenster die Grenze dessen darstellt, was noch ohne die Verwendung von Tief-UV Lacken erzielt werden kann:

  • Sehr hohe Auflösung
  • Optimierte Lackhaftung für nasschemische Prozesse
  • Steile Flanken und hohe Aspektverhältnisse für trockenchemisches Ätzen
  • Breites Parameterfenster für stabile und reproduzierbare Prozesse
  • Kompatibel mit allen gängigen Entwicklern (NaOH-, KOH- oder TMAH-basiert)
  • Kompatibel mit allen gängigen Strippern (z. B. mit AZ® 100 Remover, organischen Lösemitteln oder alkalisch)
  • g-, h- und i-line empfindlich (ca. 320 - 440 nm)
  • Lackschichtdickenbereich ca. 0.5 - 5 µm

Die Vertreter der AZ® ECI 3000 Familie (AZ® ECI 3027, AZ® ECI 3012 und AZ® ECI 3007) unterscheiden sich im Lösemittelgehalt und erlauben damit mit einem Lacksystem einen großen Lackschichtdickenbereich:

AZ® ECI 3007

Lackschichtdicke bei 4000 U/min: 0.7 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 0.5 - 1 µm erzielbar. Die Kleingebinde (250 ml - 2.500 ml) stellen wir als Verdünnung aus dem ECI 3027 her ('AZ® ECI 3027 0.7 µm grade').

Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2.5 L und 5 L

AZ® ECI 3012

Lackschichtdicke bei 4000 U/min: 1.2 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 1.0 - 2.2 µm erzielbar.

Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2.5 L und 5 L

AZ® ECI 3027

Lackschichtdicke bei 4000 U/min: 2.7 µm, über Variation der Schleuderdrehzahl ca. 2 - 5 µm erzielbar.

Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2.5 L und 5 L

Entwickler für die AZ® ECI 3000 Lacke

Wenn metallionenhaltig entwickelt werden darf, ist der NaOH-basierte AZ® 351 B in einer 1 : 4 Verdünnung (für Schichtdicken oder Auflösungen unter 1 µm auch 1 : 5 bis 1 : 6 verdünnt) der geeignete Entwickler.

Der KOH-basierte AZ® 400K (ebenfalls als 1 : 4 - 1 : 6 Verdünnung) ist wegen seiner etwas geringeren Selektivität zwar möglich, aber im Hinblick auf hohe Auflösung und steile Lackflanken weniger empfohlen.

Ist Metallionenfreiheit gefordert, empfehlen sich die TMAH-basierten Entwickler AZ® 326 MIF oder AZ® 726 MIF, entweder unverdünnt oder, für maximale Auflösung bei dünnen Lackschichen mäßig 3 : 1 bis 2 : 1 (3 Teile Developer : 1 Teil destilliertes Wasser) verdünnt.

Remover für die AZ® ECI 3000 Lacke

Bei nicht quervernetzten Lackschichten eignen sich z. B. der AZ® 100 Remover, DMSO oder andere organische Lösemittel als Stripper. Wurde durch z. B. hohe Temperaturen (> 140°C), Plasma-Prozesse oder Implantation die Lackschicht quervernetzt, empfiehlt sich der TechniStrip P1316 als NMP-freier Remover.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt zur AZ® ECI 3000 Serie mit weiteren technischen Informationen finden Sie hier:
> AZ® ECI 3000 series (TDS)
>
AZ® ECI 3012 (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

900 nm Lackstege mit dem AZ® ECI 3027 bei ca. 2.7 µm Lackschichtdicke. Quelle: AZ® ECI 3000 Product Data Sheet by AZ-EM®
450 nm Lackstege mit dem AZ® ECI 3012 bei ca. 1.2 µm Schichtdicke. Quelle: AZ® ECI 3000 Product Data Sheet by AZ-EM®
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