AZ® IPS-6050

Herausragende Eigenschaften:

Die IPS 6000 Serie ist eine Serie an Positivlacken mit erhöhter thermischer und chemischer Resistenz, charakteristische Eigenschaften sind:

  • Hohe Auflösung
  • Hohes Aspektverhältnis
  • Aufgrund der chemischen Verstärkung sind nur geringe Lichtdosen notwendig
  • i-line und Breitband empfindlich

Die Lacke dieser Serie haben einen breiten Anwendungsbereich, wie z.B.:

  • elektrochemische Abscheidung/Beschichtung von Cu RDL in WLCSP Prozessen
  • elektrochemische Abscheidung von Cu, Ni, Sn, SnAg, Au für 3DIC, FO und Flipchip Aufbereitung
  • „Opfer“-Schicht für Si ätz Prozesse in TSV
  • „Opfer“-Schicht für SiO2 oder SiN ätz Prozesse in CMOS Sensor Aufbereitung

Gebindegrößen: 100 ml, 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2,5 L und 3,78 L

Entwickler für die AZ® IPS 6000 Lacke:

Wir empfehlen AZ® 326 MIF Developer oder AZ® 726 MIF Developer (dieser beinhaltet Surfactants)

Remover für die AZ® IPS 6000 Lacke:

Bei nicht quervernetzten Lackschichten eignen sich z.B. der AZ® 100 Remover, DMSO oder andere organische Lösemittel als Stripper. Wurde durch z.B. hohe Temperaturen (>140° C), Plasma oder Implantation die Lackschicht quervernetzt, empfiehlt sich der TechniStrip P1316 als NMP-freier Remover oder auch der TechniStrip P1331.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
AZ® IPS 6000 (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

IPS 6050 (80 µm Lackschichtdicke)
®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.