AZ® IPS-6090

! WICHTIGER HINWEIS ZUM AZ IPS 6050 !

Der Hersteller hat die Produktion des IPS 6050 zugunsten des nahezu identischen und geringfügig dickeren IPS 6090 eingestellt. Durch eine geringfügige Anpassung der Schleuderparameter ist die Umstellung vom IPS 6050 auf den IPS 6090 problemlos möglich.

Herausragende Eigenschaften:

Die IPS 6000 Serie ist eine Serie an Positivlacken mit erhöhter thermischer und chemischer Resistenz, charakteristische Eigenschaften sind:

  • Hohe Auflösung
  • Hohes Aspektverhältnis
  • Aufgrund der chemischen Verstärkung sind nur geringe Lichtdosen notwendig
  • i-line und Breitband empfindlich

Die Lacke dieser Serie haben einen breiten Anwendungsbereich, wie z.B.:

  • elektrochemische Abscheidung/Beschichtung von Cu RDL in WLCSP Prozessen
  • elektrochemische Abscheidung von Cu, Ni, Sn, SnAg, Au für 3DIC, FO und Flipchip Aufbereitung
  • „Opfer“-Schicht für Si ätz Prozesse in TSV
  • „Opfer“-Schicht für SiO2 oder SiN ätz Prozesse in CMOS Sensor Aufbereitung

Gebindegrößen: 100 ml, 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2,5 L und 3,78 L

Entwickler für die AZ® IPS 6000 Lacke:

Wir empfehlen AZ® 326 MIF Developer oder AZ® 726 MIF Developer (dieser beinhaltet Surfactants)

Remover für die AZ® IPS 6000 Lacke:

Bei nicht quervernetzten Lackschichten eignen sich z.B. der AZ® 100 Remover, DMSO oder andere organische Lösemittel als Stripper. Wurde durch z.B. hohe Temperaturen (>140° C), Plasma oder Implantation die Lackschicht quervernetzt, empfiehlt sich der TechniStrip P1316 als NMP-freier Remover oder auch der TechniStrip P1331.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
AZ® IPS 6000 (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

IPS 6050 (80 µm Lackschichtdicke)
®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.