AZ® IPS-6090

Herausragende Eigenschaften:

Die IPS 6000 Serie ist eine Serie an Positivlacken mit erhöhter thermischer und chemischer Resistenz, charakteristische Eigenschaften sind:

• Hohe Auflösung
• Hohes Aspektverhältnis
• Aufgrund der chemischen Verstärkung sind nur geringe Lichtdosen notwendig
• i-line und Breitband empfindlich

Die Lacke dieser Serie haben einen breiten Anwendungsbereich, wie z.B.:

• elektrochemische Abscheidung/Beschichtung von Cu RDL in WLCSP Prozessen
• elektrochemische Abscheidung von Cu, Ni, Sn, SnAg, Au für 3DIC, FO und Flipchip Aufbereitung
• „Opfer“-Schicht für Si ätz Prozesse in TSV
• „Opfer“-Schicht für SiO₂ oder SiN ätz Prozesse in CMOS Sensor Aufbereitung

Gebindegrößen: 100 ml, 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2,5 L und 3,78 L
Haltbarkeit: Übersicht kritischer Haltbarkeiten

Entwickler für die AZ^_® IPS 6000 Lacke:

Wir empfehlen AZ^_® 326 MIF Developer oder AZ^_® 726 MIF Developer (dieser beinhaltet Surfactants)

Remover für die AZ^_® IPS 6000 Lacke:

Bei nicht quervernetzten Lackschichten eignen sich z.B. der AZ^_® 100 Remover, DMSO oder andere organische Lösemittel als Stripper. Wurde durch z.B. hohe Temperaturen (>140° C), Plasma oder Implantation die Lackschicht quervernetzt, empfiehlt sich der TechniStrip P1316 als NMP-freier Remover oder auch der TechniStrip P1331.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> AZ^_® IPS 6000 (TDS)