AZ® LNR-003

Negativlack auch für Lift-off Anwendungen

Schichtdickenbereich und Belichtung

Schichtdicke: 3.0 ... 5.0 µm
UV-Empfindlichkeit:
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1.000 ml, 2.5 L und 5 L

Generelle Informationen

AZ® LNR-003 ist ein Negativlack für Schichtdicken von ca. 3 - 5 µm, verdünnt bis 1 µm, der auch bei kleinen Lackschichtdicken einen über die Belichtungsdosis einstellbaren, auch sehr starken Unterschnitt für anspruchsvolle Lift-off Anwendungen ermöglich.

Entwickler

Wir empfehlen die TMAH-basierten Entwickler AZ® 326 MIF, AZ® 726 MIF oder AZ® 2026 MIF. Die Verwendung anderer, NaOH- oder KOH-basierter Entwickler ist grundsätzlich möglich.

Entfernen der Lackschicht

Geeignete Stripper ist der NMP-freie und mit den meisten Substratmaterialien kompatible TechniStrip NI555, welcher auch quervernetzte Lackschichten auflösen, nicht nur ablösen vermag. Bei alkalisch empfindlichen Materialien wie Aluminium ist der ebenfalls NMP-freie TechniStrip MLO07 zu empfehlen.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> AZ® LNR-003 (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.