AZ® P4000 Positivlacke

AZ® P4110, AZ® P4330, AZ® P4903, AZ® P4620

Herausragende Eigenschaften

Die AZ® P4000 Positivlack-Familie mit ihren Vertretern AZ® P4110, AZ® P4330, AZ® P4620 und AZ® P4903 zeichnet sich durch folgende Merkmale aus:

  • Eine auf allen üblichen Substratmaterialien verbesserte Haftung für eine optimale Haftung für z. B. nasschemisches Ätzen
  • Eine geringere Fotonitiator-Konzentration vereinfacht die Belichtung dicker und sehr dicker Lackschichten
  • Steile Lackflanken und hohe Aspektverhältnisse
  • g-, h- und i-line empfindlich
  • Entwickler: KOH-basiert (z. B. AZ® 400K) oder TMAH-basiert (z. B. AZ® 826 MIF)
  • Standard Stripper (z. B. AZ® 100 Remover, TechniStrip P1316)
  • Verdünner und Randwallentfernung: AZ® EBR Solvent (= PGMEA)

AZ® P4110

Lackschichtdickenbereich: Ca. 2 - 5 µm.
Gebindegrößen: 3,78 L (Gallone), Kleingebinde auf Anfrage

AZ® P4330

Lackschichtdickenbereich: Ca. 3 - 8 µm.
Gebindegrößen: 3,78 L (Gallone), Kleingebinde auf Anfrage

AZ® P4620

Lackschichtdickenbereich: Ca. 2 - 5 µm.
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2,5 L und 3,78 L (Gallone)

AZ P4620 (15 µm Öffnungen bei 24 µm Lackschichtdicke für die Goldgalvanik)

AZ® P4903

Lackschichtdickenbereich: Ca. 8 - 30 µm.
Gebindegrößen: 3,78 L (Gallone), Kleingebinde auf Anfrage

Maximales Aspektverhältnis für 5 - 20 µm Lackschichtdicke?

Für diese Anforderung empfehlen wir unseren AZ® 9260.

> 30 µm Lackschichtdicke erforderlich?

Für diese Anforderung empfehlen wir unseren chemisch verstärkten AZ® 40XT.

Development

AZ® 400K 1:4 oder AZ® 826 MIF wird empfohlen.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> AZ® P4000 series  (TDS)
>
Info AZ® P4000 series
>
Info AZ® P4620

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.