AZ® P4000 Positivlacke

Herausragende Eigenschaften

Die AZ^_® P4000 Positivlack-Familie mit ihren Vertretern AZ^_® P4110, AZ^_® P4330, AZ^_® P4620 und AZ^_® P4903 zeichnet sich durch folgende Merkmale aus:

• Eine auf allen üblichen Substratmaterialien verbesserte Haftung für eine optimale Haftung für z. B. nasschemisches Ätzen
• Eine geringere Fotonitiator-Konzentration vereinfacht die Belichtung dicker und sehr dicker Lackschichten
• Steile Lackflanken und hohe Aspektverhältnisse
• g-, h- und i-line empfindlich
• Entwickler: KOH-basiert (z. B. AZ^_® 400K) oder TMAH-basiert (z. B. AZ^_® 826 MIF)
• Standard Stripper (z. B. AZ^_® 100 Remover, TechniStrip P1316)
• Verdünner und Randwallentfernung: AZ^_® EBR Solvent (= PGMEA)

AZ^_® P4110

Lackschichtdickenbereich: Ca. 2 - 5 µm.
Gebindegrößen: 3,78 L (Gallone), Kleingebinde auf Anfrage

AZ^_® P4330

Lackschichtdickenbereich: Ca. 3 - 8 µm.
Gebindegrößen: 3,78 L (Gallone), Kleingebinde auf Anfrage

AZ^_® P4620

Lackschichtdickenbereich: Ca. 2 - 5 µm.
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1000 ml, 2,5 L und 3,78 L (Gallone)

AZ^_® P4903

Lackschichtdickenbereich: Ca. 8 - 30 µm.
Gebindegrößen: 3,78 L (Gallone), Kleingebinde auf Anfrage

Maximales Aspektverhältnis für 5 - 20 µm Lackschichtdicke?

Für diese Anforderung empfehlen wir unseren AZ^_® 9260.

> 30 µm Lackschichtdicke erforderlich?

Für diese Anforderung empfehlen wir unseren chemisch verstärkten AZ^_® 40XT.