AZ® TFP 650

Herausragende Eigenschaften

Der AZ® TFP 650F 5 eignet sich für Rotations-, sowie für Extrusionsbeschichtungen unter normalen bis zu harten Ätzbedingungen.  Der TFP 650F-5 ist kompatibel mit allen handelsüblichen Wafern und Fotomasken Systemen und zeichnen sich durch folgende Merkmale aus:

  • Hohe Photospeed
  • Optimierte Lackhaftung
  • Leichtes Lackentfernen nach Hardbake
  • Hohe Resistenz gegen starke Ätzmittel

Gebindegrößen: 3,78 L Flaschen (1VE = 4 x 3,78 Liter)

Entwickler für den TFP 650F5 Resist:

Wir empfehlen AZ® 326 MIF Developer oder AZ® 726 MIF Developer (dieser enthält Netzmittel).

Remover:

Bei nicht quervernetzten Lackschichten eignen sich z.B. der AZ® 100 Remover, DMSO oder andere organische Lösemittel als Stripper. Wurde durch z.B. hohe Temperaturen (>140° C), Plasma oder Implantation die Lackschicht quervernetzt, empfiehlt sich der TechniStrip P1316 als NMP-freier Remover oder auch Technistrip P1331.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> AZ® TFP 650 F (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.