Ordyl SY 300

Allgemeine Informationen

Ordyl^® SY 300 ist ein speziell für MEMS Anwendungen entwickelter, biokompatibler, permanenter (nach der Strukturierung dauerhaft auf dem Substrat verbleibender) i-line empfindlicher Trockenfilm mit sehr hohem
möglichen Aspektverhältnis sowie ausgezeichneter hoher thermischer und chemischer Stabilität.
Dieser Trockenfilm ist in Dicken von 10 μm (0.4 mills), 20 μm (0.8 mills), 30 μm (1.2 mills), 55 μm (2.2 mills) und 125 μm (5.0 mills) verfügbar und eignet sich hinsichtlich guter Haftung u. a. für die Substratmaterialien Glas, Silicium, Kapton und Mylar. Das Laminieren erfolgt bei 105 - 125°C und einem Druck von 2.5 - 3.5 bar mit einer Geschwindigkeit von ca. 1 - 3 Metern pro Minute.
Ordyl^® SY 300 wird mit Wellenlängen nahe i-line (360 - 380 nm) mit Dosen von ca. 100 - 400 mJ/cm² (je nach Filmdicke und erwünschtem Profil der entwickelten Lackstrukturen) belichtet. Ein Post Exposure Bake ist chemisch nicht notwendig, aber ein Ausheizen bei 80°C für einige Minuten kann helfen, die Haftung auf einigen kritischen Oberflächen zu verbessern. Eine Aushärtung bei 150 °C nach der Entwicklung wird dringend empfohlen.
Entwickelt wird mit dem Ordyl SY Developer im Tauch-, Puddle- oder Sprühverfahren, gefolgt von einem anschließenden Spülen mit Ordyl SY Rinse für eine rückstandsfreie Substratoberfläche.

Hauptmerkmale:

• Biokompatibilität
• Hervorragende chemische Beständigkeit

Anwendungsbereich:

• MEMS

Verfügbare Schichtdicken:

• 10 μm (0.4 mils), 20 μm (0.8 mils), 30 μm (1.2 mils), 55 μm (2.2 mils) und 125 μm (5 mils)
• Weitere Schichtdicken auf Anfrage.

Entwickler

Für die Entwicklung der Trockenfilm-Serie Ordyl^® SY 300 empfehlen wir den lösemittelbasierten Entwickler Ordyl^® SY 300 Developer XFB.

Remover und Stripper

Ordyl^® SY 300 ist ein Permanent-Resist der nicht als temporäre Lackmaske gedacht ist zur späteren Entfernung. Der Resist kann nur vor dem Post Bake (vor der Quervernetzung) z.B. mit dem Ordyl Developer XFB durch längeres Einwirken entfernt werden, oder mit starken Lösungsmitteln wie MEK oder Aceton.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> Ordyl SY 300 (TDS)
> Ordyl SY Rinse (TDS)
> Zusatzinformationen Ordyl SY Rinse