Ordyl SY 300

Trockenfilm

Allgemeine Informationen

Ordyl® SY 300 ist ein speziell für MEMS Anwendungen entwickelter, biokompatibler, permanenter (nach der Strukturierung dauerhaft auf dem Substrat verbleibender) i-line empfindlicher Trockenfilm mit sehr hohem
möglichen Aspektverhältnis sowie ausgezeichneter hoher thermischer und chemischer Stabilität.
Dieser Trockenfilm ist in Dicken von 10 μm (0.4 mills), 20 μm (0.8 mills), 30 μm (1.2 mills), 55 μm (2.2 mills) und 125 μm (5.0 mills) verfügbar und eignet sich hinsichtlich guter Haftung u. a. für die Substratmaterialien Glas, Silicium, Kapton und Mylar. Das Laminieren erfolgt bei 105 - 125°C und einem Druck von 2.5 - 3.5 bar mit einer Geschwindigkeit von ca. 1 - 3 Metern pro Minute.
Ordyl® SY 300 wird mit Wellenlängen nahe i-line (360 - 380 nm) mit Dosen von ca. 100 - 400 mJ/cm2 (je nach Filmdicke und erwünschtem Profil der entwickelten Lackstrukturen) belichtet. Ein Post Exposure Bake ist nicht notwendig, jedoch ein Hardbake nach dem Entwickeln um 150°C.
Entwickelt wird mit dem Ordyl SY Developer im Tauch-, Puddle- oder Sprühverfahren, gefolgt von einem anschließenden Spülen mit Ordyl SY Rinse für eine rückstandsfreie Substratoberfläche.

Hauptmerkmale:

  • Biokompatibilität
  • Hervorragende chemische Beständigkeit

Anwendungsbereich:

  • MEMS

Verfügbare Schichtdicken:

  • 10 μm (0.4 mils), 20 μm (0.8 mils), 30 μm (1.2 mils), 55 μm (2.2 mils) und 125 μm (5 mils)
  • Weitere Schichtdicken auf Anfrage.

Entwickler

Entwickelt wird mit wässrigen Na2CO3- oder K2CO3-Lösungen oder den für diesen Trockenfilm optimierte Entwickler, gefolgt von einem anschließenden Spülen mit DI-Wasser, dessen Härte mit 250 mg/l Magnesiumsulfate
eingestellt wurde. Für die Entwicklung des Trockenfilms Ordyl® SY 300 empfehlen wir den Entwickler Ordyl® SY 300.

Remover und Stripper

Das Strippen der Lackmaske erfolgt mit KOH- oder NaOH-Lösungen (jeweils ca. 1-3 %ig bei 40-60°C) bzw. für diesen Trockenfilm optimierte Stripper wie den Ordyl® Stripper 5600 und TechniStrip NF26 oder auch alkalische Lösungen wie  NaOH oder KOH (1%…3%).

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> Ordyl SY 300 (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Mögliche Versandeinheiten:

  • auf Anfrage

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.




Mit dem Trockenfilm Ordyl® SY 300 erzielte Strukturen in unterschiedlichen Auflösungen zeigen das Potenzial sehr hoher Aspektverhältnisse. Abbildungen mit freundlicher Genehmigung aus den Datenblättern des Herstellers Elga Europe.