Schutzlacke

Übersicht über unsere Schutzlacke

AZ 520 D

Schutzlack

Schichtdickenbereich und Belichtung

Schichtdicke: 1.5 ... 3.0 µm
UV-Empfindlichkeit: Keine
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1.000 ml, 2500 ml und 5 Liter

Generelle Informationen:

AZ® PC 520 D ist eine kostengünstige Beschichtung für den Schutz von Oberflächen bei Prozessen wie Rückseitenläppen oder Rückseitenätzen. Sie basiert auf dem Novolak-Harz welches auch die Hauptkomponente unserer Fotolacke ist. Der Lack ist blau eingefärbt damit die Beschichtung einfach inspiziert werden kann. Er ist gegenüber vielen sauren und leicht alkalischen Ätzbädern stabil und kann in einer Dicke von ca. 2 µm aufgebracht werden.

Bitte beachten Sie, dass dieser Resist in KOH oder NaOH basierten Ätzen wie sie für das Siliciumätzen verwendet werden nicht stabil ist.

Im Datenblatt wird auch ein Produkt namens AZ® 546D erwähnt. AZ® 546D wird seit 2005 nicht mehr produziert und ist deshalb leider nicht mehr verfügbar.

Strippen

Entfernt werden kann dieses Produkt mit den gleichen Strippern wie sie auch für unsere Fotolacke verwendet werden.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> AZ® 520 D (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.