AZ® 4999

Schichtdickenbereich und Belichtung

Schichtdicke: 0.5 ... 20 µm (depending on spray coating conditions)
UV-Empfindlichkeit: i-, h-, g-line (310-440nm)
Gebindegrößen: 250ml, 500ml, 1L, 2.5L und 5 Liter

Generelle Informationen

AZ® 4999 ist ein g-, h- und i-line empfindlicher, für die Sprühbelackung optimierter Positivlack.

Durch sein Absorptionsverhalten lässt er sich sowohl bei dünnen als auch dicken (bis einige 10 μm) Lackschichtdicken prozessieren.
Gerne senden wir Ihnen bei Interesse weitere Informationen zu!

Entwickler

AZ® 400K Developer, AZ® 826 MIF Entwickler empfohlen; 
AZ® 351B möglich

Mehr Informationen dazu: Fotolack AZ 4999.pdf

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.