TI 35 ES

Umkehrlack für mittlere Schichtdicken

! Bitte beachten Sie !

Leider müssen wir Ihnen mitteilen, dass unser Fotoresist TI 35 ES, aufgrund sehr eingeschränkter Verfügbarkeit eines Rohstoffes, bis zum Frühjahr 2017 eingestellt wird.


Um Ihnen einen möglichst reibungslosen Wechsel auf einen alternativen Fotolack zu ermöglichen, bietet wir Ihnen hiermit alle in unserer Kraft stehende Unterstützung hierbei an und empfehlen Ihnen, sich diesbezüglich mit uns in Verbindung zu setzen.

Alternativer Fotolack:

TI 35 ESX  Technisches Datenblatt
AZ 5214 E Technisches Datenblatt
AZ nLof 20xx Technisches Datenblatt

Gerne senden wir Ihnen auch ein kostenloses Muster für Testzwecke der alternativen Fotolacke zu.
Bitte schicken Sie uns Ihre Anfrage an
: info(at)microchemicals.de

Schichtdickenbereich und Belichtung

Schichtdicke: 2.5 ... 5 µm
UV-Empfindlichkeit: i-, h-, g-line (310 - 440 nm), breitband/monochromatisch
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1.000 ml, 2.5 L und 5 L

Generelle Informationen

TI 35 ES besitzt durch seine größere Schichtdicke ein für Umkehrlacke relativ großes Prozessfenster für unterschnittene Lackkanten. Seine hohe thermische Stabilität (Erweichungspunkt je nach Prozessführung > 130°C) erlaubt reproduzierbaren Liftoff auch dicker aufgedampfter oder gesputterter Schichten).
Ab mehreren 100 nm Schichtdicke des aufgebrachten Materials empfiehlt sich jedoch dringend das Aufdampfen anstelle des Sputterns, um die Lackflankenbedeckung zu minimieren und sauberen Lift-off zu ermöglichen.

Entwickler

AZ® 400K 1 : 4, AZ® 726 MIF, AZ® 826 MIF

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
>
TI 35 ES (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

Ein stabiler Unterschnitt (hier: 3.5 µm Lackschichtdicke) erlaubt sauberen Lift-off auch dicker aufgedampfter Schichten.
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