TI Spray

Schichtdickenbereich und Belichtung

Schichtdicke: 0.5 ... 5 µm
UV-Empfindlichkeit: i-, h-, g-line (310-440nm)
Gebindegrößen: 250ml, 500ml, 1.000 ml, 2.5L und 5 Liter

Generelle Informationen

TI Spray Fotolack ist ein sprühbarer Image Reversal Resist, der sich je nach Prozessführung sowohl positiv als auch negativ strukturieren lässt. Er kann daher sowohl für das nasschemische Ätzen als auch für die sogenannte Lift-Off Technik eingesetzt werden.

Die Viskosität ist so eingestellt, dass er direkt in vielen Spraycoatern für eine Schichtdicke von 1-5µm eingesetzt werden kann.

Entwickler

AZ® 400K oder AZ® 826 MIF Developer

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> TI Spray (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.