Trockenfilme


Trockenfilme werden nicht in flüssiger Form auf Substrate aufgebracht, sondern als bereits lösemittelfreie Folie auf Substrate auflaminiert. Während sich die weitere Prozessierung prinzipiell wie bei Flüssiglacken gestaltet, bieten Trockenfilme hinsichtlich der Substratauswahl und Prozessierung völlig neue Möglichkeiten.

Grundsätzliches zu Trockenfilmen

Unterschiede zu Flüssiglacken

Flüssiglacke weisen durch einen Lösemittelanteil im Bereich von ca. 30 - 90 % eine Viskosität von ca. 10 - 1000 cSt auf, wodurch sie sich als mehr oder weniger zähe Flüssigkeit aufschleudern, aufsprühen oder via Tauchbelackung auf Substrate aufbringen lassen und beim anschließenden Softbake getrocknet werden müssen.
Trockenfilme hingegen liegen nach ihrer Herstellung als bereits lösemittelfreie (bzw. -arme) Folien vor, welche nach dem Auflaminieren auf das Substrat ohne vorherigen Backschritt belichtet werden können.

Einsatzbereiche von Trockenfilmen

Trockenfilme sind besonders dann eine Alternative zu Flüssiglacken, wenn die zu belackenden Substrate Bohrungen oder generell Vertiefungen aufweisen, welche lackfrei bleiben sollen. Während daraus ein nachträgliches Herausentwickeln von flüssig aufgebrachten Lacken schwierig bis unmöglich zu realisieren ist, wird mit dem Aufl aminieren von Trockenfilmen das Ziel  unbelackter Bohrungen automatisch erreicht.
Je größer die erwünschte Lackschichtdicke sein soll, desto größer die Zeitersparnis durch den obsoleten Softbake welcher in der Dicklackprozessierung einer der zeitintensivsten Prozessschritt ist.

Grenzen von Trockenfilmen

Auch wenn die erzielbare Dicke moderner Trockenfilmen vergleichbar mit der üblicher Flüssig-Dicklacke ist, sind wenige μm dünne Lackschichten mit Auflösungen um 1 μm bislang nur mit Flüssiglacken erreichbar.
Stärker texturierte Substrate lassen sich nur mit Flüssiglacken vollflächig beschichten. Für Prozesse wie nasschemisches Ätzten oder der Galvanik bei denen eine optimale Lackhaftung sehr kritisch ist kann es unter Umständen notwendig sein, Flüssiglacke mit ihrer auf die tendenziell besseren Haftung einzusetzen.

Aufbringen von Trockenfilmen

Die Abbildung zeigt schematisch den Vorgang wie Trockenfilme auf das Substrat laminiert werden. Trockenfilme befinden sich herstellerseitig zwischen zwei Schutz- bzw. Trägerfolien, von denen zunächst die dem Substrat zugewandte Folie entfernt wird. Der nun frei liegende Trockenfilm wird durch beheizte Rollen unter erhöhtem Druck auf das Substrat auflaminiert, wonach die obere Schutzfolie entfernt wird.

Schematische Darstellung der Auflaminierung von Trockenfilmen. Unmittelbar vor dem Kontakt mit dem Substrat wird die substratseitige Schutzfolie abgezogen und der nun frei liegende Trockenfilm unter Druck und Temperatur auf das Substrat laminiert.

Weitere Prozessierung von Trockenfilmen

Die weitere Prozessierung der belackten Substrate gestaltet sich prinzipiell wie bei flüssigen Negativlacken: Bei Belichten quervernetzen die belichteten Bereiche, die anschließende Entwicklung entfernt den nicht belichteten Lack.

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