NB SEMIPLATE AU 100 AS

Allgemeine Informationen

NB SEMIPLATE AU 100 AS (= früher NB SEMIPLATE AU 100) ist ein alkalischer, Zyanidfreier Elektrolyt für eine glänzende, mechanisch unverspannte Gold-Abscheidung mit folgenden Merkmalen:

• sehr stabiles Bad (sulfitisch)
• sehr gleichmäßige Dickenverteiliung
• glänzende Oberfläche (Arsenglanzbildner)
• Raumtemperaturabscheidung

Der NB SEMIPLATE AU 100 AS ist ein ready-to-use Produkt. Das bedeutet das Produkt ist gebrauchsfertig und es wird für den erstmaligen Beginn der Anwendung keine weitere Zugabe von anderen Stoffen benötigt. Im Lauf der Zeit kann es je nach Elektrolyt und Anwendung notwendig werden, Additive nachzuführen (siehe Datenblatt).

Verglichen mit anderen Elektrolyten zeigt der NBT SEMIPLATE AU 100 AS Ansatz eine überragende Uniformität über Texturen, Gräben und Durchführungen auch komplexer Geometrie.

Mit dem NB SEMIPLATE AU 100 AS abgeschiedene Schichten zeigen die einzigartige Eigenschaft, auch bei zunehmender Schichtdicke hohen Glanz aufzuweisen. Dichte-Messungen der abgeschiedenen Schicht zeigen Werte von 19.1 g/cm3, was belegt, dass keine Co-Deposition organischer Bestandteile statt findet wie sie generell bei anderen Formulierungen auftreten.

Haupteinsatzgebiet des NB SEMIPLATE AU 100 AS Elektrolyten sind Anwendungen im Bereich MEMS Prozessierung. 

Physikalische Eigenschaften der gewachsenen Au-Schicht

• Reinheit 99.9%
• Härte 130 to 190 mHV0,020
• Kontaktwiderstand 0.3 mW (“cross-wire”-Methode mit 200 Gramm Belastung)
• Abscheidegewicht für 2.5 μm 31.6 mg/in 2 (4.9 mg/cm2) (100 micro-inch)

Anwendungsbeispiele

Mit unseren Elektrolyten realisierte Projekte im Bereich der Mikrogalvanik haben wir hier exemplarisch veranschaulicht:
> Mikroschalter
> Verdrahtung auf flexiblen Polyimid-Folien

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> NB Semiplate Au 100 (TDS)
> Anleitung NBT Probenservice für Galvanikbäder

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Persönliche Beratung und Anfrage

Mögliche Versandeinheiten:

• 1 L und 5 L Gebinde

Kompatibel:

• Reinheitsgrade: VLSI/ ULSI oder MEMS
• Fotolacke: kompatibel mit (AZ-) Fotolacken

Wenn Sie Interesse an Produkten für die Wartung des Bades und Wiederaufbereitung haben, dann schicken Sie uns bitte Ihre Anfrage.
Gerne können Sie uns auch für eine persönliche technische Beratung zum Einsatz unserer Elektrolyte für Ihre laufenden oder geplanten Prozesse, oder einer Anfrage zu Preisen und Lieferzeiten kontaktieren.

Mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 36080 409
Fax: +49 (0)731 36080 908

Vielen Dank für Ihr Interesse.

Unsere Broschüre Mikro-Galvanik

Unsere technische Broschüre mit theoretischen und anwendungs-orientierten Informationen zur Galvanik in der Lithografie kann hier als pdf geladen oder (gratis) bestellt werden.