NB SEMIPLATE NI 100

Unser Nickel-Elektrolyt

Allgemeine Informationen

NB SEMIPLATE NI 100 ist ein Nickelsulfamat-Elektrolyt für eine reine, unverspannte, halbglänzende, feinkörnige Nickel-Abscheidung wie sie von der Halbleiter-Industrie gefordert wird.

Der NB SEMIPLATE NI 100 ist ein ready-to-use Produkt. Das bedeutet das Produkt ist gebrauchsfertig und es wird für den erstmaligen Beginn der Anwendung keine weitere Zugabe von anderen Stoffen benötigt. Im Lauf der Zeit kann es je nach Elektrolyt und Anwendung notwendig werden, Additive nachzuführen (siehe Datenblatt).

NB SEMIPLATE NI 100 ist optimiert für die Ni-Abscheidung auf mikrostrukturierten Wafern (Micro System Technology).

Der NB SEMIPLATE NI 100 Elektrolyt enthält als Additiv einen Anoden-Aktivator um den anodischen Abtrag zu erhöhen und eine Passivierung der Anode zu verhindern.

Die Eigenschaften der abgeschiedenen Schicht sind einfach zu kontrollieren und während der Abscheidung aufrecht zu halten.

Eigenschaften / Vorteile

  • Reine Nickel-Abscheidung
  • Sehr geschmeidige, feinkörnige Schichtstrukturen
  • Kontrollierbare innere mechanische Verspannung bis 7000 μm
  • Keine Passivierung der Anode
  • Hohe kontrollierbare Härte
  • Gute Uniformität über Texturen

Anwendungsbeispiele

Mit unseren Elektrolyten realisierte Projekte im Bereich der Mikrogalvanik haben wir hier exemplarisch veranschaulicht:
> Mikroschalter
> Verdrahtung auf flexiblen Polyimid-Folien

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> NB Semiplate Ni 100 (TDS)

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Persönliche Beratung und Anfrage

Mögliche Versandeinheiten:

  • 1 L und 5 L Gebinde

Kompatibel:

  • Reinheitsgrade: VLSI/ ULSI oder MEMS
  • Fotolacke: kompatibel mit (AZ-) Fotolacken

Wenn Sie Interesse an Produkten für die Wartung des Bades und Wiederaufbereitung haben, dann schicken Sie uns bitte Ihre Anfrage.
Gerne können Sie uns auch für eine persönliche technische Beratung zum Einsatz unserer Elektrolyte für Ihre laufenden oder geplanten Prozesse, oder einer Anfrage zu Preisen und Lieferzeiten kontaktieren.

Mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 36080 409
Fax: +49 (0)731 36080 908

Vielen Dank für Ihr Interesse.

Unsere Broschüre Mikro-Galvanik

Unsere technische Broschüre mit theoretischen und anwendungs-orientierten Informationen zur Galvanik in der Lithografie kann hier als pdf geladen oder (gratis) bestellt werden.

Source: nb technologies
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