PGMEA = EBR Solvent

1-methoxy-2-propyl-acetate

Typische Anwendungsbereiche für PGMEA

PGMEA (Propylenglykolmonomethylacetat bzw. 1-Methoxy-2-propyl-acetat) ist aufgrund seiner geringen Neigung zur Partikelbildung und seines geringen Dampfdrucks das Hauptlösemittel bzw. der geeignete Verdünner aller AZ® und Ti-Fotolacke und eines der wenigen, welches zu deren weiteren Verdünnung geeignet ist. Weiterhin wird es nach dem Aufschleudern von Fotolacken zur Randwallentfernung eingesetzt.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> EBR Solvent (TDS)
> Lösemittel: Theorie und Anwendung

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Mögliche Versandeinheiten:

  • 5 Liter Flaschen (1 VE = 4 x 5 Liter oder Einzelflaschen)
  • 30 L oder 200 L Fässer auf Anfrage

Mögliche Reinheitsgrade:

  • VLSI

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

Physikalische Eigenschaften von PGMEA:

Dichte
Schmelzpunkt
Siedepunkt
Flammpunkt
Dampfdruck @ 20°C

0.97 g/cm3
-66°C
125°C
45°C
5 hPa

®AZ, das AZ Logo, BARLi und Aquatar sind eingetragene Markenzeichen der Firma Merck Performance Materials GmbH.