TMAH 25 %

Tetramethylammoniumhydroxid

Verfügbare Reinheitsgrade und Konzentrationen

Wir bieten TMAH in der Konzentration 25 % in VLSI-Qualität an, wie sie üblicherweise in der Halbleiter-Fertigung und Mikroelektronik eingesetzt wird. Die diesem Reinheitsgrad entsprechenden Spezifikationen finden Sie im Technischen Datenblatt weiter unten.

Anwendungsgebiete für Kalilauge in der Mikrostrukturierung

TMAH wird hauptsächlich zum anisotropen Ätzen von Silizium verwendet, wenn metallionenfreie Prozessierung erfordert ist.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> Tetramethylammonium (SPEC)
> Nasschemisches Ätzen

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Mögliche Versandeinheiten:

  • 2,5 Liter Flaschen (1 VE = 6 x 2,5 Liter oder Einzelflaschen)
  • 5 L, 30 L oder 200 L Fässer auf Anfrage

Mögliche Reinheitsgrade:

  • VLSI

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

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