Quarz-Wafer

Herstellung von Quarz-Wafern

Quarz Einkristalle werden nach dem Hydrothermal-Prinzip synthetisch  hergestellt (Abb. rechts). Hierbei kristallisiert Quarz bei einer Temperatur von
etwa 400°C und 1000 - 1500 bar aus einer gesättigten NaOH-Lösung an Quarz-Impfkristallen aus, die auf einer etwas geringeren Temperatur liegen als
die Quarzstücke, welche als Ausgangsstoff kontinuierlich in Lösung gehen.
Das Kristallwachstum kann Stunden bis Tage dauern, die dabei entstehenden Einkristalle bis zu mehrere kg wiegen. Aus diesen Einkristallen werden die Wafer gesägt, geschliffen und poliert.

Spezifikationen von Quarz-Wafern

Kristall-Orientierung: Als monokristallines Material besitzt Quarz verschiedene
Kristall-Richtungen, parallel zu denen die Wafer-Oberfläche orientiert ist. Übliche Orientierungen sind „X-Cut“, „Y-Cut“, „AT-Cut“ und „ST-Cut“.

Durchmesser: Verfügbare Durchmesser liegen bei 2, 3 und 4 Zoll. Andere Größen/Abmessungen auf Anfrage.

Oberfläche: Quarz-Wafer sind üblicherweise beidseitig poliert, eine einseitige Polierung ist auf Anfrage grundsätzlich machbar.

Unsere Wafer-Broschüre

Unsere technische Wafer-Broschüre mit Informationen zur Herstellung und Spezifizierung von Silizium-, Quarz-, Quarzglas und Borosilikat-Glaswafern kann hier als pdf geladen oder (gratis) bestellt werden.