Säuren / Basen

Essigsäure (Eisessig 99.8 %)

Netzmittel, und chemischer Puffer in diversen chemischen Ätzlösungen, wie z.B. in Al-Beizen.

Gebindegrößen: 2,5 L Flaschen (1 VE = 6 x 2,5 Liter)

Weitere Informationen finden Sie auf der Produktseite:
> Essigsäure

Flusssäure (1%, 10% und 50%)

Wird benutzt zum Ätzen von SiO2 (Quartz) und zum ätzen von Silicium (zusammen mit HNO3).

Gebindegrößen: 2,5 L Flaschen ( 1 VE = 6 x 2,5 Liter)

Weitere informationen finden Sie auf der Produktseite:
> Flusssäure

Phosphorsäure (H3PO4 - 85 %) 

Zutat in diversen naß-chemischen Ätzlösungen, wie z.B. in Ätzlösungen für das Ätzen von Al (Aluminium), GaAs (Gallium Arsenid), InP (Indium Phosphid), Ag (Silber) or ZnO (Zink Oxid). Sehr heisse konzentrierte Phosphorsäure ätzt ausserdem SiNx (Silicium Nitrid).

Gebindegrößen:  2,5 L Flaschen (1 VE = 6 x 2,5 Liter)

Weitere informationen finden Sie auf der Produktseite:
> Phosphorsäure

Gepufferte Flusssäure (BOE 7:1)

(Ammoniumfluorid-Ätzmischung 87.5/12.5)

Wird benutzt zum Ätzen von SiO2 (Quarz). Durch seine im Vergleich zur
ungepufferten Flusssäure höheren PH-Wert ist die gepufferte Flusssäure milder zu Fotolacken.
Die Ätzrate liegt je nach Temperatur und des zu ätzenden SiO2 bei ca. 70-90 nm/min.

Auch als Gepufferte Flusssäure mit Netzmittel erhältlich.

Gebindegrößen:  2,5 L Flaschen (1 VE = 6 x 2,5 Liter)

Weitere informationen finden Sie auf der Produktseite:
> BOE

Salpetersäure (69.5 %)

Zutat zur Silicium Ätze (Beize). Sie ist ebenfalls Inhaltsstoff von diversen Ätzlösungen wie z.B. von Ätzlösungen von Ga-haltigen III/V Halbleitern. 

Gebindegrößen:  2,5 L Flaschen (1 VE = 6 x 2,5 Liter)

Weitere Informationen finden Sie auf der Produktseite:
> Salpetersäure

Salzsäure (37 %)

Die Salzsäure ist eine Zutat zum Königswasser und zu vielen Ätzlösungen wie RCA2 und auch zu einigen Beizen für ITO wie auch von III/V Halbleitern z.B. InP.

Gebindegrößen:  2,5 L Flaschen (1 VE = 6 x 2,5 Liter)

 

Weitere Informationen finden Sie auf der Produktseite:
> Salzsäure

Schwefelsäure (96 %)

Inhaltsstoff zusammen mit H2O2 zur der Piranhaätzlösung. Wird auch für Ätzlösungen von Ga-haltigen Verbindungshalbleitern verwendet.

Gebindegrößen:  2,5 L Flaschen (1 VE = 6 x 2,5 Liter)

Weitere Informationen finden Sie auf der Produktseite:
> Schwefelsäure

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Mögliche Versandeinheiten:

  • 2,5 Liter Flaschen (1 VE = 6 x 2,5 Liter oder Einzelflaschen)
  • 5 L, 30 L oder 200 L Fässer auf Anfrage

Mögliche Reinheitsgrade:

  • VLSI
  • ULSI

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

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