Säuren / Basen

Essigsäure (Eisessig 99.8 %)

Netzmittel, und chemischer Puffer in diversen chemischen Ätzlösungen, wie z.B. in Al-Beizen.
 
> Mehr Informationen dazu finden Sie im Technischen Datenblatt Essigsäure.
> Allgemeine Informationen dazu: Nasschemisches Ätzen

Flusssäure (1%, 10% und 50%)

Wird benutzt zum Ätzen von SiO2 (Quartz) und zum ätzen von Silicium (zusammen mit HNO3). 

> Mehr Informationen dazu finden Sie im Technischen Datenblatt Flusssäure.
> Allgemeine Informationen dazu: Nasschemisches Ätzen

Phosphorsäure (H3PO4 - 85 %) 

Zutat in diversen naß-chemischen Ätzlösungen, wie z.B. in Ätzlösungen für das Ätzen von Al (Aluminium), GaAs (Gallium Arsenid), InP (Indium Phosphid), Ag (Silber) or ZnO (Zink Oxid). Sehr heisse konzentrierte Phosphorsäure ätzt ausserdem SiNx (Silicium Nitrid).
 
> Mehr Informationen dazu finden Sie im Technischen Datenblatt Phosphorsäure.
> Allgemeine Informationen dazu: Nasschemisches Ätzen

Gepufferte Flusssäure (BOE 7:1)

(Ammoniumfluorid-Ätzmischung 87.5/12.5)

Wird benutzt zum Ätzen von SiO2 (Quarz). Durch seine im Vergleich zur
ungepufferten Flusssäure höheren PH-Wert ist die gepufferte Flusssäure milder zu Fotolacken.
Die Ätzrate liegt je nach Temperatur und des zu ätzenden SiO2 bei ca. 70-90 nm/min.

> Mehr Informationen dazu finden Sie im Technischen Datenblatt Gepufferte Flusssäure.
> Allgemeine Informationen dazu: Nasschemisches Ätzen

Salpetersäure (69.5 %)

Zutat zur Silicium Ätze (Beize). Sie ist ebenfalls Inhaltsstoff von diversen Ätzlösungen wie z.B. von Ätzlösungen von Ga-haltigen III/V Halbleitern. 

> Mehr Informationen dazu finden Sie im Technischen Datenblatt Salpetersäure 70%.
> Allgemeine Informationen dazu: Nasschemisches Ätzen

Salzsäure (37 %)

Die Salzsäure ist eine Zutat zum Königswasser und zu vielen Ätzlösungen wie RCA2 und auch zu einigen Beizen für ITO wie auch von III/V Halbleitern z.B. InP. 

> Mehr Informationen dazu finden Sie im Technischen Datenblatt Salzsäure 37%.
> Allgemeine Informationen dazu: Nasschemisches Ätzen

Schwefelsäure (96 %)

Inhaltsstoff zusammen mit H2O2 zur der Piranhaätzlösung. Wird auch für Ätzlösungen von Ga-haltigen Verbindungshalbleitern verwendet.

> Mehr Informationen dazu finden Sie im Technischen Datenblatt Schwefelsäure 96%.
> Allgemeine Informationen dazu: Nasschemisches Ätzen

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Mögliche Versandeinheiten:

  • 2,5 Liter Flaschen (VLSI Qualität; Einzelflaschen oder die übliche Versandeinheit 6 x 2.5 Liter)

  • 5 L, 30 L oder 200 L Fässer auf Anfrage

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

e-mail: verkauf@microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet: Technische Infos.