BOROSILIKATGLAS WAFER
Borosilikatglas und normales Glas im Vergleich
Zusammensetzung
Borosilikatglas besteht zu ca. 80 % aus Siliciumdioxid (SiO2), und ca. 5 - 15 % Bortrioxid (B2O3). Weitere Additive sind Alkalioxide (Na2O, K2O), Aluminiumoxid (Al2O3) und Erdalkalioxide (CaO, MgO). Borosilikatgläser besitzen zur Erhöhung der Transparenz gewöhnlich einen sehr geringen Eisengehalt, welcher die typische Grünfärbung von Fensterglas verursacht.
Eigenschaften
Aufgrund seines Borgehaltes weist Borosilikatglas verglichen mit Fensterglas eine deutlich höhere chemische Stabilität gegenüber Wasser, vielen Chemikalien und pharmazeutischen Produkten auf. Zudem zeigt Borosilikatglas durch seinen verglichen mit Fensterglas weniger als halb so großen Wärmeausdehnungskoeffizienten eine deutlich höhere thermische Stabilität gegenüber Temperaturschwankungen.
Herstellung von Glas-Wafern
Für die Weiterverarbeitung zu Glaswafern bestimmtes Borosilikatglas wird im „Floatprozess“ hergestellt. Hierbei lässt man geschmolzenes Glas aus einem Schmelzofen kontinuierlich über ein Bad aus geschmolzenem Zinn fließen, worauf es sich gleichmäßig verteilt und auf die gewünschte Dicke gebracht wird. Auf der anderen Seite des Zinnbades wird das mittlerweile erstarrte Glas von der Zinnoberfläche abgehoben, spannungsarm gekühlt und auf die gewünschten Maße zugeschnitten.
Die Herstellung von Glasscheiben aus Borosilikatglas im „Floatprozess“-Verfahren.
Spezifikationen von Glas-Wafern
Durchmesser und Abmessungen
Verfügbare Durchmesser sind 2, 3, 4, 5, 6 und 8 Zoll, andere Größen gerne auf Anfrage. Ebenfalls möglich ist die Vereinzelung in rechteckige Stücke, was wir gerne auf Anfrage anbieten.
Wafer-Dicke und Oberfläche
Standard-Dicken sind 500, 700 und 1100 μm, andere Dicken gerne auf Anfrage. Die Oberflächen können einoder beidseitig poliert sein. Die Rauigkeit der polierten Seite(n) liegt üblicherweise bei < 1.5 nm.
Weitere Informationen:
> Herstellung und Spezifikationen von Glas-Wafern
