Entwickler

Auswahlkriterien für Entwickler

Zunächst ist zu klären, ob metallionenfrei mit fertigen Ansätzen (metal-ion-free, MIF) entwickelt werden muss/soll oder metallionenhaltig (metal-ion-containing, MIC) mit zu verdünnenden Konzentraten entwickelt werden darf.

Das nächste Auswahlkriterium für einen Entwickler ist die Kompatibilität zum jeweiligen Fotolack (siehe Tabelle unten) bzw. zum verwendeten Substratmaterial.

Unsere Entwickler

AZ 326 MIF ist eine wässrige 2.38 % TMAH (TetraMethylAmmoniumHydroxid) Lösung.

AZ 726 MIF ist eine wässrige 2.38 % TMAH (TetraMethylAmmoniumHydroxid) Lösung mit zusätzlichen Netzmitteln zur raschen und homogenen Benetzung des Substrates.

AZ 826 MIF ist ist eine wässrige 2.38 % TMAH (TetraMethylAmmoniumHydroxid) Lösung mit zusätzlichen Netzmitteln zur raschen und homogenen Benetzung des Substrates und weiteren Additiven zur Entfernung schwer löslicher Lackbestandteile (Rückstände bei bestimmten Lackfamilien), allerdings auf Kosten eines etwas höheren Dunkelabtrags.

AZ Developer basiert auf Natrium-Phosphat und Natrium-Metasilikat. Dieser Entwickler ist auf minimalen Aluminiumabtrag optimiert und wird typischerweise 1 : 1 verdünnt in DI-Wasser für hohen Kontrast oder unverdünnt für hohe Entwicklungsraten eingesetzt. Der Dunkelabtrag dieses Entwicklers ist etwas höher.

AZ 351B basiert auf gepufferter NaOH und wird üblicherweise 1 : 4 mit DI-Wasser verdünnt angewandt.

AZ 400K basiert auf gepufferter KOH und wird üblicherweise 1 : 4 mit DI-Wasser verdünnt angewandt.

AZ 303 ist ein Spezial-Entwickler für den AZ 111 XFS Fotolack, dieser Entwickler basiert auf KOH, NaOH und Netzmitteln.

Tabelle der Entwickler

 

Fotolithografie Anwendungshinweise

Eine große Anzahl an Dokumenten zu theoretischem und praktischem Hintergrund aller Schritte der Mikrostrukturierung haben wir hier als pdf zum Download gelistet:
> Technische Info

Versandeinheiten, Reinheitsgrade und Lieferzeiten

Mögliche Versandeinheiten:

  • Gebindegrößen: 5L Flaschen (1VE = 4 x 5 Liter)
  • 30 L, 200 L Fässer auf Anfrage

Unsere typischen Lieferzeiten innerhalb Deutschlands sind 1-3 Arbeitstage. Lieferzeiten in andere Länder auf Anfrage. In eiligen Fällen können wir die meisten Stoffe auch per Express innerhalb 24 liefern.

Senden Sie uns Ihre Anfrage an die unten stehende E-Mailadresse.

E-mail: sales(at)microchemicals.com
Tel.: +49 (0)731 977 343 0
Fax: +49 (0)731 977 343 29

Vielen Dank für Ihr Interesse.