AZ 2026 MIF Developer - 5.00 l
Produktinformationen "AZ 2026 MIF Developer - 5.00 l"
AZ® 2026 Developer
Metallionenfreier Developer
Allgemeine Informationen
AZ® 2026 MIF ist ein TMAH-basierter Entwickler für die Tauch- oder Puddle-Entwicklung, kompatibel mit allen AZ® Fotolacken aus unserem Portfolio.
Produkteigenschaften
Der ready-to-use AZ® 2026 MIF Entwickler ist eine wässrige 2,38 %ige TMAH-Lösung mit einem Tensid für eine gleichmäßige Substratbenetzung für die Puddle-Entwicklung, ist aber ebenso für die Tauchentwicklung geeignet. Zudem enthält der AZ® 2026 MIF ein Additiv zur Förderung Rückstand freien Entwickeln bei quervernetzten Lackstrukturen. Da dieses Additiv bei Positivlacken den Dunkelabtrag leicht erhöht, ist der AZ® 2026 MIF gerade bei hohen Auflösungsanforderungen für diese Lacke weniger geeignet, hier wäre der AZ® 326 MIF oder AZ® 726 MIF die bessere Wahl. TMAH-basierte Entwickler kommen immer dann zum Einsatz, wenn metallionenfrei entwickelt werden muss. Zudem empfehlen sich für unsere chemisch verstärkten Positivlacke sowie unsere Negativlacke vorrangig TMAH-basierte Entwickler. Für normale, DNQ-basierte Positivlacke ohne die Anforderung metallionenfreier Entwicklung kann aus Kostengründen statt einem TMAH-basierten Entwickler ein KOH-oder NaOH-basierter Entwickler wie der AZ® 400K oder AZ® 351B in Erwägung gezogen werden. Bei sehr dünnen Lackschichten ( < 1 µm) bzw. sehr hohen Auflösungsanforderungen kann es sinnvoll sein, den AZ® 2026 MIF mit Wasser zu verdünnen (AZ® 2026 MIF: Wasser = 2 : 1 bis maximal 1 : 1). AZ® 2026 MIF greift Aluminium mit einer Ätzrate von ca. 70 nm/min an. Falls dies nicht toleriert werden kann, ist der Al-kompatible AZ® Developer eine Alternative, welcher jedoch auf Natrium-Verbindungen basiert und deshalb nicht metallionenfrei ist.
Weitere Informationen
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MSDS:
Sicherheitsdatenblatt AZ® 2026 MIF Developer englisch
Sicherheitsdatenblatt AZ® 2026 MIF Developer deutsch
TDS:
Technisches Datenblatt AZ® 2026 MIF Developer englisch
Anwendungshinweis:
Weitere Informationen zur Fotolack Prozessierung englisch
Weitere Informationen zur Fotolack Prozessierung deutsch