MIF ENTWICKLER
Grundchemie des Entwicklers
Wässrig alkalische Entwickler
Positivlacke und die von uns vertriebenen Negativlacke lassen sich wässrig alkalisch entwickeln. Die entsprechenden Entwickler basieren entweder auf verdünnter Natron- oder Kalilauge oder einer wässrigen Lösung aus dem metallionenfreien organischen TMAH (TetraMethylAmmoniumHydroxid). manche entwickler sind chemische Puffer gegen die Neutralisation durch CO2 zur Verlängerung der Standzeit, Oberflächenbenetzer für die Puddle-Entwicklung oder Additive zum Entfernen schwer im Entwickler löslicher Lackrückstände zugesetzt.
Auswahlkriterien von Entwicklern
Kompatibilität zu Fotolacken
Nicht jeder Fotolack lässt sich mit jedem Entwickler rückstandsfrei entwickeln. So ist beispielsweise für die AZ® 4500 Serie der NaOH-basierte AZ® 351B weniger geeignet als KOH- oder TMAH-basierte Entwickler, während der AZ® 111 XFS den AZ® 303 als Entwickler erfordert. Falls bei der Prozessierung von Negativlacken über Streuung, Beugung oder Reflexionen eine unbeabsichtigte Teilbelichtung nominell dunkler Lackbereiche zu befürchten ist bietet sich der TMAH-basierte AZ® 2026 MIF an. Dieser beinhaltet einen Zusatz zum Abtrag schwer entwickelbarer Lackbereiche, was auch bei der Entwicklung von Positivlacken u. U. zu einem saubereren Entwicklungsbild führen kann, allerdings auf Kosten eines höheren Dunkelabtrags.
Metallionenhaltig oder metallionenfrei?
Metallionenhaltige Entwickler wie der NaOH-basierte AZ® 351B oder der KOH-basierte AZ® 400K sind in der Regel deutlich preiswerter als metallionenfreie TMAH-basierte Entwickler, ohne grundsätzlichen Unterschied in ihrer Leisungsfähigkeit oder Kapazität. Ein wichtiges Auswahlkriterium für den optimalen Entwickler is demnach die Frage, ob metallionenfrei entwickelt werden muss oder metallhaltig entwickelt werden darf. Metallionenfreiheit ist z.B. dann eine Bedingung, wenn zwingend ausgeschlossen werden muss, dass Rückständer an Natrium- oder Kaliumionen des Entwicklers auf dem Substrat bei nachfolgenden Hochtemperaturprozessen in das Halbleitersubstrat diffundieren und dort als Störstellen dessen elektronische Eigenschaften beeinflussen.