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Wafer
Herstellung von Silizium-Einkristallen
Silizium-Wafer: Herstellung und Spezifikationen
Weiterverarbeitung von Silizium-Wafern
Quarz-Wafer: Kristallografie, Herstellung und Spezifikationen
Quarzglas (Fused Silica)-Wafer: Herstellung und Spezifikationen
Fotolack-Prozessierung
Zusammensetzung und Eigenschaften von Fotolacken
Lagerung und Handhabung von Fotolacken und Entwicklern
Auswahlkriterien für Fotolacke
Substratreinigung und Haftvermittlung
Optische Parameter von Fotolacken
Hardbake, reflow und DUV-Härtung