Unsere Broschüren

Fotolithografie

Es gibt großartige Neuigkeiten.
Wir haben in den letzten Monaten an einer Neuauflage unserer Broschüren gearbeitet. Zum ersten Mal gibt es nun von uns eine gebundene Ausgabe mit allen Themenbereichen zur Fotolithographie in einem Werk zusammengefasst. Alle Inhalte und Informationen der vorherigen Ausgabe wurden überarbeitet, aktualisiert und erneuert.

Bei Interesse an unserem Buch füllen Sie bitte einfach das untenstehende Formular aus. (Bitte halten Sie dafür ihre Kundenummer griffbereit.)

Buchbestellung

Mit diesem Buch möchten wir Ihnen umfassendes anwendungsorientiertes Know-how zu Wafern, Fotochemikalien und damit durchgeführten Strukturierungsschritten vermitteln. Theoretische Grundlagen werden nur in dem Umfang behandelt wie sie für das Verständnis der Zusammenhänge zwischen den Prozessparametern hilfreich sind. Dadurch bleibt der Schwerpunkt auf der Schilderung und Erläuterung praktischer Beispiele.
Fertige Rezepte mit Erfolgsgarantie können wir Ihnen leider nicht (immer) mit auf den Weg in den Reinraum geben. Unser Hauptanliegen ist es vielmehr, Ihnen in den folgenden Kapiteln alles notwendige Verständnis zur Planung, Durchführung und Optimierung Ihrer Lithografie-Prozesse in allen Teilschritten mit minimalem Zeitaufwand zu vermitteln.

Viel Erfolg dabei wünscht Ihnen

Ihre MicroChemicals

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Fotolithografie – Grundlagen der Mikrostrukturierung
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Fotolithografie - Grundlagen der Mikrostrukturierung
(nicht als PDF erhältlich)