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TechniStrip P1331 - 5,00 l - MOS

TechniStrip® P1331 is, for alkaline sensitive materials, an alternative to the P1316.

Produktinformationen "TechniStrip P1331 - 5,00 l - MOS"

TechniStrip® P1331

Hochleistung Remover

Allgemeine Informationen

TechniStrip® P1331 ist ein Remover mit sehr starker Ablösekraft für Novolak-basierte Lacke (einschließlich aller AZ® positivlacke), epoxidbasierte Beschichtungen, Polyimide und Trockenfilme. Bei typischen Anwendungstemperaturen um 75°C kann TechniStrip® P1331 auch vernetzte Resists rückstandsfrei auflösen, z. B. durch Trockenätzen oder Ionenimplantation. Das Remover kann auch in Sprühverfahren verwendet werden.
TechniStrip® P1331 ist für alkaliempfindliche Materialien eine Alternative zum P1316.

Produkteigenschaften
  • Flammpunkt: 100,5°C
  • Viskosität (20°C): < 2 cP
  • Wasserlöslichkeit: Vollständig mischbar
  • Siedepunkt: 189°C
  • Dichte (bei 20°C): 1.109 g/cm3
Verträglichkeit
  • Metalle: greift Al, Cu, Au an
  • Metalle: kein Angriff auf Ta, Ni, Ti, TiN
  • Substrate: Si, SiO2

Die Angaben zur Selektivität und Verträglichkeit sind Herstellerangaben und erheben keinen Anspruch auf Vollständigkeit. Bitte kontaktiere uns für weitere Details.

Wichtigste Merkmale
  • Sehr hohe Abtragsrate, >10µm/min
  • Hohe Effizienz bei der Harzauflösung
  • Erhöhte Harzbeladungskapazität, > 2 Mal so hoch wie bei Standard-POR
    • THB121N, 21µm, 8" Wafer - bis zu 15 Wafer/Liter
  • Badlebensdauer bis zu 72 Stunden bei 70°C
  • Vollständige Metallverträglichkeit, <10A/min @60°C
  • Vollständig mit Wasser mischbar
  • Sicherheit: als reizend eingestuft
Einige Anwendungen

TechniStrip® P1316 ist ein leistungsstarkes NMP-freies Remover für:

  • Novolak-basierte Positivlacke, wie z. B. alle positiven AZ® lacke
  • Epoxid-basierte Resists
  • Polyimide, Haftkleber
  • Trockene Filme
Weitere Informationen

MSDS:
Sicherheitsdatenblatt TechniStrip P1331 (MOS) englisch
Sicherheitsdatenblatt TechniStrip P1331 (MOS) deutsch

TDS:
Technisches Datenblatt TechniStrip P1331 (MOS) englisch

Technische Daten:
Specs TechniStrip P1331 (MOS)

Anwendungshinweise:
Fotolack Entfernen englisch
Fotolack entfernen deutsch

Weitere Informationen zur Verarbeitung

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