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TechniEtch ACI2 - 5.00 l - VLSI

TechniEtch™ACI2 is a potassium iodide and iodine-based etching mixture for gold etching.

Produktinformationen "TechniEtch ACI2 - 5.00 l - VLSI"

TechniEtch™ ACI2

Gold Ätzmittel

Allgemeine Informationen

TechniEtch™ ACI2 ist ein hochwirksames und selektives Gold-Ätzmittel Stripper. TechniEtch™ ACI2 ist ein Gold-Ätzmittel auf Jodbasis, das spezielle Zusätze enthält, die die Stabilität und die Fähigkeit zur Metallbeladung im Vergleich zu herkömmlichen Lösungen auf I2/I3-Basis erheblich verbessern.

Produkteigenschaften
  • Hohe Ätzrate bei Raumtemperatur
  • Niedrige Oberflächenspannung für verbesserte Benetzungseigenschaften
  • Hohe Stabilität auch bei Metallverunreinigungen (Cu, Ni...).
  • Beladung und Badlebensdauer unabhängig vom Cu-Verunreinigungsgrad der Lösung (bis zu 1 g/l)
  • Erhöhte Beladungskapazität im Vergleich zu Standardlösungen auf I2/KI-Basis.
  • Bessere Prozesskontrolle/Zuverlässigkeit.
  • Geringe Toxizität im Vergleich zu Cyanid- und HF/HNO3-basierten Lösungen
Selektivität

TechniEtch™ ACI2 ist kompatibel/etwas selektiv für folgende Materialien:

  • Metalle: kein Angriff auf Ni, Al, Ti, TiN
  • Metalle: Angriff auf Au, Cu, Sn, Pt, W
  • Halbleitermaterialien: Si, SiO2, Si3N4

Die Angaben zur Selektivität und Kompatibilität sind Herstellerinformationen und erheben keinen Anspruch auf Vollständigkeit. Bitte kontaktiere uns für weitere Details.

Weitere Informationen

MSDS:
Sicherheitsdatenblatt TechniEtch™ ACI2 (VLSI) englisch
Sicherheitsdatenblatt TechniEtch™ ACI2 (VLSI) deutsch

TDS:
Technisches Datenblatt TechniEtch™ ACI2 (VLSI) englisch

Technische Daten:
Spezifikationen TechniEtch™ ACI2 (VLSI)

Anwendungshinweise:
Nasses Ätzen englisch
Nasschemisches Ätzen deutsch
Nasses Ätzen von Metallen englisch
Nasschemisches Ätzen von Metallen deutsch

Weitere Informationen zur Verarbeitung

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